[發明專利]一種可旋轉靶材裝夾裝置

有效

• 申請號: 201710894748.4
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN107815652B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 武曄輝
• 申請（專利權）人: 深圳市眾誠達應用材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/32
• 代理公司: 北京華識知識產權代理有限公司 11530
• 代理人: 江婷

1.一種可旋轉靶材裝夾裝置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的上表面的中部固定連接有第一轉軸（2），且底座（1）的上表面的外圍均勻開設有轉盤卡槽（3），所述第一轉軸（2）的外表面的中部套接有轉盤（4），所述轉盤（4）的下表面的外圍均勻固定連接有轉盤卡銷（5），且轉盤（4）的上表面的左部和右部均固定連接有支架（7），所述支架（7）的外表面套接有滑動套管（8），所述滑動套管（8）的前表面螺接有緊固螺栓（9），第二轉軸（10）的兩端分別與左、右兩個支架（7）上的滑動套筒（8）連接，所述第二轉軸（10）的外表面套接有轉動套管（12），所述轉動套管（12）的上側壁的內表面卡接有卡銷（11），且轉動套管（12）的內部開設有彈簧卡槽（19），所述卡銷（11）的左側壁和右側壁中部均固定連接有彈簧底座（20），所述彈簧底座（20）的上表面固定連接有復位彈簧（21）的一端，所述復位彈簧（21）的另一端與彈簧卡槽（19）的上表面固定連接，所述第二轉軸（10）的外表面均勻開設有變檔卡槽（17），所述轉動套管（12）的外周面上固定連接有環形裝夾器（22），所述環形裝夾器（22）的內表面均勻固定連接有彈簧套管（13），所述彈簧套管（13）的下表面固定連接有裝夾板（15），且彈簧套管（13）的外表面套接有裝夾彈簧（14）。

2.根據權利要求1所述的一種可旋轉靶材裝夾裝置，其特征在于：所述第一轉軸（2）的上表面固定連接有拉抬限制蓋（6）。

3.根據權利要求1所述的一種可旋轉靶材裝夾裝置，其特征在于：所述卡銷（11）的外表面的上部開設有支撐桿插孔（18）。

4.根據權利要求1所述的一種可旋轉靶材裝夾裝置，其特征在于：所述第二轉軸（10）的外表面開設變檔卡槽（17）的間距最小為變檔卡槽（17）的直徑。

5.根據權利要求1所述的一種可旋轉靶材裝夾裝置，其特征在于：所述轉盤（4）的下表面與底座（1）的上表面之間的間距在1.5cm-3cm。

6.根據權利要求1所述的一種可旋轉靶材裝夾裝置，其特征在于：所述裝夾板（15）的下表面固定連接有防滑膠層（16）。