[發(fā)明專利]Lamb波傳感器、生物檢測芯片和快速篩查系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710883416.6
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN107727845B
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周連群;魏巍;李傳宇;張威;姚佳;張芷齊;郭振
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01N33/543
• 分類號(hào): G01N33/543;G01N27/02;G01N27/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 李敏

1.一種Lamb波傳感器，其特征在于，包括

襯底層(131)，所述襯底層的一側(cè)面上開設(shè)至少一個(gè)單向開口的檢測腔(1312)，所述檢測腔(1312)頂部的所述襯底層形成諧振薄膜(1311)；

地電極層(132)，設(shè)置于所述襯底層(131)的遠(yuǎn)離所述檢測腔(1312)的一側(cè)面上；

壓電薄膜(133)，設(shè)置于所述地電極層(132)的遠(yuǎn)離所述襯底層(131)的一側(cè)面上；

至少一對(duì)第一微電極(134)，設(shè)置于所述壓電薄膜(133)遠(yuǎn)離所述地電極層(132)的一側(cè)面上，用于檢測壓電信號(hào)；

至少一對(duì)第二微電極(135)，所述第二微電極(135)的表面修飾抗體，用于檢測阻抗信號(hào)；所述第二微電極(135)設(shè)置于所述諧振薄膜(1311)下表面，或者由所述第一微電極(134)經(jīng)抗體修飾后形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Lamb波傳感器，其特征在于，所述第一微電極(134)和/或所述第二微電極(135)是由金屬材料制成的叉指電極、微柱電極或微盤電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的Lamb波傳感器，其特征在于，所述第二微電極(135)的電極引腳依次穿過所述諧振薄膜(1311)、所述地電極層(132)和所述壓電薄膜(133)，并在所述壓電薄膜(133)遠(yuǎn)離所述地電極層(132)的一側(cè)面上形成所述第二微電極(135)的電極接觸點(diǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的Lamb波傳感器，其特征在于，所述諧振薄膜(1311)的厚度≤20μm。

5.一種生物檢測芯片，其特征在于，所述生物檢測芯片包括

基座(14)，其上開設(shè)有凹槽；

權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的Lamb波傳感器(13)，設(shè)置于所述凹槽內(nèi)，與所述基座(14)通過連接件(15)形成電連接；

蓋板(11)，覆蓋所述基座(14)，所述蓋板(11)內(nèi)設(shè)置有位于所述檢測腔(1312)兩側(cè)的進(jìn)樣孔(1122)和出樣孔，所述Lamb波傳感器(13)上設(shè)置所述第二微電極(135)的一側(cè)朝向所述蓋板(11)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種生物檢測芯片，其特征在于，所述Lamb波傳感器(13)具有至少兩個(gè)所述檢測腔(1312)，每個(gè)所述檢測腔(1312)對(duì)應(yīng)至少一對(duì)所述第二微電極(135)；

其中，對(duì)應(yīng)同一所述檢測腔(1312)的所述第二微電極(135)表面修飾結(jié)合相同抗原的抗體，且與其他所述檢測腔(1312)對(duì)應(yīng)的所述第二微電極(135)結(jié)合不同抗原。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的生物檢測芯片，其特征在于，所述蓋板(11)包括蓋板封閉層(111)和蓋板通道層(112)，所述蓋板(11)封閉層位于所述蓋板通道層(111)的上方，所述蓋板通道層(112)內(nèi)開設(shè)有與所述檢測腔(1312)對(duì)應(yīng)的至少兩條流體通道(1121)，所述流體通道包括流入段和流出段；

所述流體通道(1121)的兩端別連接同一進(jìn)樣孔(1122)；其中，每條所述流體通道(1121)的長度相等，流體由所述進(jìn)樣孔(1122)流入后等量且等速度流經(jīng)每條所述流體通道(1121)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一項(xiàng)所述的生物檢測芯片，其特征在于，所述連接件(15)為彈性探針，所述彈性探針的一端連接位于所述基座(14)內(nèi)的檢測電路；

所述第二微電極(135)位于所述檢測腔(1312)內(nèi)，所述彈性探針的另一端連接所述Lamb波傳感器(13)上的所述地電極層(132)、所述第一微電極(134)和所述第二微電極(135)的電極接觸點(diǎn)；或者

所述第二微電極(135)由所述第一微電極(134)經(jīng)抗體修飾后形成，所述彈性探針的所述另一端連接所述Lamb波傳感器(13)上的所述地電極層(132)和所述第二微電極(135)。

9.根據(jù)權(quán)利要求5-8任一項(xiàng)所述的生物檢測芯片，其特征在于，所述生物檢測芯片還包括設(shè)置于所述蓋板(11)和所述Lamb波傳感器(13)之間且覆蓋所述基座(14)的密封件(12)；所述密封件(12)具有與所述檢測腔(1312)對(duì)應(yīng)開設(shè)的檢測口(121)。

10.一種快速篩查系統(tǒng)，其特征在于，所述快速篩查系統(tǒng)包括權(quán)利要求5-9任一項(xiàng)所述的生物檢測芯片。