[發明專利]一種線性蒸發源裝置及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201710883034.3
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN107815648B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 鄭子明;趙軍;呂海超;彭勃
• 申請（專利權）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210
• 代理人: 南小平

1.一種線性蒸發源裝置，包括：

坩堝(10)，所述坩堝(10)上設有坩堝出氣口(101)；

本體(20)，所述本體(20)的底部中央位置設有本體進氣口(201)；

及置于所述本體(20)的頂部且呈線性均勻排布的多個噴嘴(30)；

其特征在于，還包括置于所述坩堝(10)和所述本體(20)之間的連通管(40)；所述連通管(40)上設有引入通道(401)、壓縮通道(402)及釋放通道(403)；所述引入通道(401)與所述坩堝出氣口(101)相連，所述釋放通道(403)與所述本體進氣口(201)相連；所述壓縮通道(402)設置于所述引入通道(401)和所述釋放通道(403)之間；

所述引入通道(401)為“上小下大”的梯形截面形狀，所述壓縮通道(402)為矩形截面形狀，所述釋放通道(403)為“上大下小”的梯形截面形狀；

所述引入通道(401)比所述釋放通道(403)長；

所述引入通道(401)的開口角度為30°～90°；

所述釋放通道(403)的開口角度為90°～150°。

2.根據權利要求1所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述本體(20)內設置有混合板(50)，且所述混合板(50)將所述本體(20)的腔體分成第一混合腔(20a)和第二混合腔(20b)。

3.根據權利要求2所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述混合板(50)在所述本體(20)的腔體內呈水平狀、V形狀、U形狀或圓弧狀設置。

4.根據權利要求2所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述混合板(50)上設有若干混合通孔(501)，且所述混合通孔(501)的投影位置對應于所述噴嘴(30)的噴嘴通孔(301)的位置。

5.根據權利要求4所述的線性蒸發源裝置，其特征在于，所述混合通孔(501)的大小保持一致或者呈“中間小、兩邊大”的漸進式設置。

6.一種包括權利要求1-5任意一項所述的線性蒸發源裝置的蒸鍍設備。