[發明專利]感測流體介質壓力的壓力傳感器和其制造方法

在審

• 申請號: 201710859906.2
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN107870054A
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: D·埃特
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01L7/08
• 分類號: G01L7/08;G01L19/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.壓力傳感器(10)，用于感測測量室中的流體介質的壓力，所述壓力傳感器包括壓力接頭(12)和用于感測所述流體介質的壓力的傳感器元件(24)，借助于該壓力接頭能夠將所述壓力傳感器(10)安裝在所述測量室上或安裝在所述測量室中，其中，在所述壓力接頭(12)中構造有輸入通道(18)，其中，所述傳感器元件(24)布置在襯底(20)上，其中，所述輸入通道(18)由所述襯底(20)來封閉并且構造用于將所述流體介質輸入至所述傳感器元件(24)，

其特征在于，

所述壓力接頭(12)和所述襯底(20)一件式地構造，并且所述傳感器元件(24)被印刷到所述襯底(20)上。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器(10)，其中，所述壓力接頭(12)和所述襯底(20)整體式地構造。

3.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器(10)，其中，所述傳感器元件(24)構造為結構化的層(26)。

4.根據權利要求3所述的壓力傳感器(10)，其中，所述結構化的層(26)由金屬制造。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的壓力傳感器(10)，其中，在所述傳感器元件(24)和所述襯底(20)之間布置具有電絕緣特性的層(28)、尤其是電介質。

6.用于制造壓力傳感器(10)的方法，所述壓力傳感器用于感測測量室中的流體介質的壓力，所述方法包括

-提供壓力接頭(12)，借助于所述壓力接頭能夠將所述壓力傳感器(10)安裝在所述測量室上或安裝在所述測量室中，其中，在所述壓力接頭(12)中構造有輸入通道(18)，

-通過襯底(20)來封閉所述輸入通道(18)，

-將用于感測所述流體介質的壓力的傳感器元件(24)布置在所述襯底(20)上，其中，所述輸入通道(18)構造用于將所述流體介質輸入至所述傳感器元件(24)，

其特征在于，

-所述壓力接頭(12)和所述襯底(20)一件式地構造，并且將所述傳感器元件(24)印刷到所述襯底(20)上。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，將所述傳感器元件(24)作為層印刷到所述襯底(20)上并且結構化。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，結構化的層(26)由金屬制造。

9.根據權利要求6至8中任一項所述的方法，其中，借助于篩網印刷方法將所述傳感器元件(24)印刷到所述襯底(20)上。

10.根據權利要求6至9中任一項所述的方法，其中，在所述傳感器元件(24)和所述襯底(20)之間布置具有電絕緣特性的層(28)、尤其是電介質。