[發明專利]膜厚傳感器有效
| 申請號： | 201710831065.4 | 申請日： | 2017-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN107794509B | 公開（公告）日： | 2021-10-01 |
| 發明（設計）人： | 伊藤敦 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444 | 代理人： | 龔敏;王剛 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種膜厚傳感器，其具有AT切型石英振子，
所述石英振子具有成膜面，所述成膜面的表面粗糙度(Ra)為0.19μm以上且0.4μm以下、并且切割水平50％的載荷長度比率(tp)為95％以上，所述切割水平50％的載荷長度比率(tp)是通過將粗糙曲面以平行于頂點面的切割水平即Ry的50％切割時得到的切割面積的和相對于基準面的百分比而求得的。
2.根據權利要求1所述的膜厚傳感器，其中，
所述成膜面的切割水平50％的載荷長度比率(tp)為97％以上。
3.根據權利要求1所述的膜厚傳感器，其中，
所述成膜面的表面粗糙度(Ra)為0.25μm以下。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的膜厚傳感器，其中，
所述石英振子的基本振蕩頻率為5MHz或6MHz。
6.根據權利要求1至3中任一項所述的膜厚傳感器，其中，
所述成膜面由金屬膜構成。
7.根據權利要求6所述的膜厚傳感器，其中，
所述金屬膜是Ag膜或Au膜。
8.根據權利要求1至3中任一項所述的膜厚傳感器，其中，
所述石英振子具有所述成膜面為平坦面的平凸形狀。
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