[發明專利]濺射鍍膜機與濺射鍍膜方法有效
| 申請號： | 201710818909.1 | 申請日： | 2017-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN107604326B | 公開（公告）日： | 2019-03-12 |
| 發明（設計）人： | 譚偉;姜亮 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人： | 林才桂;聞盼盼 |
| 地址： | 518132 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掩膜片 濺射鍍膜機 濺射鍍膜 承載裝置 拉緊 展平 拉緊裝置 綁定 鍍膜 緊固 可拆卸連接 凹凸結構 鍍膜成本 固定的 掩膜板 再加工 側滑 拆裝 外框 張網 生產成本 保養 | ||
1.一種濺射鍍膜機，其特征在于，包括：
軌道(10)；
設于所述軌道(10)上并可沿所述軌道(10)移動的承載裝置(20)，所述承載裝置(20)包括框形基板(21)、從所述框形基板(21)的內側與所述框形基板(21)相連的框形凸臺(22)、及位于所述框形凸臺(22)內側的框形開口(23)；所述框形基板(21)上設有分布于所述框形凸臺(22)四周的數個溝槽(215)；
靶材(30)，與所述框形開口(23)相對應；
與所述數個溝槽(215)的數量相對應的數個緊固拉緊裝置(40)，所述緊固拉緊裝置(40)包括可沿所述溝槽(215)移動的滑塊(41)、穿過所述滑塊(41)內的螺紋孔與其螺紋連接的螺桿(42)、與所述滑塊(41)的上表面相配合的壓片(43)、及數個螺絲(44)；所述螺桿(42)的一端抵靠于所述框形凸臺(22)的外表面上；所述滑塊(41)的上表面的形狀與所述壓片(43)的下表面的形狀相配合；所述數個螺絲(44)用于將所述壓片(43)與所述滑塊(41)固定在一起；
數個壓條(50)，所述壓條(50)具有與所述框形凸臺(22)的上表面相配合的形狀，其用于在掩膜片(60)被拉緊展平后與所述框形凸臺(22)配合，將掩膜片(60)固定于所述壓條(50)與框形凸臺(22)之間。
2.如權利要求1所述的濺射鍍膜機，其特征在于，所述溝槽(215)垂直于所述框形凸臺(22)的外表面，所述溝槽(215)從所述框形凸臺(22)的外表面起始并朝遠離所述框形凸臺(22)的方向延伸；
所述框形凸臺(22)的外表面設有限制機構，所述螺桿(42)的一端固定于該限制機構內，所述限制機構限制所述螺桿(42)的運動方式，使所述螺桿(42)可以轉動但不能沿溝槽(215)移動。
3.如權利要求1所述的濺射鍍膜機，其特征在于，所述承載裝置(20)還包括與所述框形基板(21)底面相連的凸塊(25)，所述凸塊(25)的形狀與所述軌道(10)的形狀相配合；
所述框形凸臺(22)的頂表面高于所述滑塊(41)的上表面。
4.如權利要求1所述的濺射鍍膜機，其特征在于，所述框形凸臺(22)的上表面具有靠近所述框形開口(23)一側的框形凸起(221)，所述壓條(50)具有與所述框形凸起(221)相配合的形狀；
所述滑塊(41)的上表面設有第一凹槽(411)和第一凸起(412)，所述壓片(43)的下表面上設有分別與所述第一凹槽(411)和第一凸起(412)相對應的第二凸起(431)和第二凹槽(432)。
5.如權利要求1所述的濺射鍍膜機，其特征在于，所述螺桿(42)遠離所述框形凸臺(22)的一端設有手柄(425)。
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