[發(fā)明專利]可見盲紫外光探測器及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710798855.7 | 申請日： | 2017-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN109473488B | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 呂惠賓;姜麗桐;葛琛;金奎娟;楊國楨 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院物理研究所 |
| 主分類號： | H01L31/0224 | 分類號： | H01L31/0224;H01L31/108;H01L31/18;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京泛華偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 可見 紫外光 探測器 及其 制備 方法 | ||
1.一種可見盲紫外光探測器，其特征在于，包括：
吸收體，所述吸收體的禁帶寬度為3eV～8eV；
設(shè)置在所述吸收體的表面上的第一電極和第二電極；
設(shè)置在所述第一電極和第二電極之間的第三電極，所述第三電極靠近所述第一電極；
電源，其正極和負(fù)極分別電連接至所述第一電極和第二電極；以及
連接至所述第三電極和所述電源的負(fù)極的兩根輸出引線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可見盲紫外光探測器，其特征在于，所述可見盲紫外光探測器還包括連接在所述電源的負(fù)極和所述第二電極之間的保護(hù)電阻。
3.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的可見盲紫外光探測器，其特征在于，所述吸收體的材料為鈦酸鍶、鈦酸鋇、鈮酸鋰、鈮酸鑭、白寶石、鉭酸鋰、鈦酸鑭、氧化鋯、氧化鋅和氧化鎂之一。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可見盲紫外光探測器，其特征在于，所述吸收體呈片狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的可見盲紫外光探測器，其特征在于，所述第一、第二和第三電極是條狀、環(huán)形或圓形，所述第三電極和所述第一電極的間距為2微米～1000微米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的可見盲紫外光探測器，其特征在于，所述第一電極、第二電極和第三電極的材料為金、鉑、銅、鋁、石墨、銦錫氧化物、釕酸鍶或金屬合金。
7.一種用于如上權(quán)利要求1所述的可見盲紫外光探測器的制備方法，其特征在于，包括下列步驟：
步驟1)，制備禁帶寬度為3eV～8eV的吸收體；
步驟2)，在所述吸收體的表面生長導(dǎo)電材料以形成第一電極、第二電極和第三電極，其中所述第三電極位于所述第一電極和第二電極之間，且靠近所述第一電極；
步驟3)，將電源的正極和負(fù)極分別連接至所述第一電極和所述第二電極；
步驟4)，從所述第三電極和所述電源的負(fù)極分別引出輸出引線。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
