[發(fā)明專利]太陽能電池片無氧退火工藝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710785984.2 | 申請(qǐng)日： | 2017-09-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109427928B | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張冠綸;扈靜;謝耀輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 通威太陽能（成都）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L31/18 | 分類號(hào)： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王學(xué)強(qiáng);羅滿 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 片無氧 退火 工藝 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種太陽能電池片無氧退火工藝，其特征在于包括以下步驟：
A. 將爐管預(yù)熱至640-660℃；將電池片放入退火爐；并向退火爐爐管中通入大氮；通入大氮的流量為1500ml/min -3500ml/min；
B. 將退火爐爐管內(nèi)溫度在290-310s內(nèi)升至第一溫度，并抽取真空至第一壓強(qiáng)；第一溫度為740-760℃，第一壓強(qiáng)為160-180mbar；
C. 保持第一溫度及第一壓強(qiáng)；持續(xù)時(shí)間為890-910s；
D. 將退火爐爐管內(nèi)溫度在140-160s內(nèi)降至第二溫度： 640-660℃；
E. 將退火爐爐管內(nèi)壓強(qiáng)在90-110s內(nèi)升至常壓；
F. 出爐。
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
