[發(fā)明專利]一種曝光機(jī)光源光學(xué)模組在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710780716.1 | 申請(qǐng)日： | 2017-09-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107390479A | 公開（公告）日： | 2017-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王華;陳志特;高劍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東莞科視自動(dòng)化科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 東莞市中正知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)44231 | 代理人： | 成偉 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 曝光 光源 光學(xué) 模組 | ||
1.一種曝光機(jī)光源光學(xué)模組，其特征在于：包括LED大燈板（1）、設(shè)于LED大燈板上的LED模組（2）、設(shè)于LED大燈板底部的冷卻系統(tǒng)（3）、設(shè)于LED大燈板上方的蜂窩狀濾光裝置（4），所述LED模組包括設(shè)置在LED大燈板上的分為32個(gè)區(qū)域且成陣列分布的UV-LED（5），所述32個(gè)區(qū)域每個(gè)區(qū)域設(shè)有92顆UV-LED；所述冷卻系統(tǒng)為冰水冷卻系統(tǒng)，包括均勻設(shè)置在LED大燈板底部的冷卻水管（6）和水溫監(jiān)控系統(tǒng)；所述蜂窩狀濾光裝置包括設(shè)于LED大燈板上方的濾光板（7），所述濾光板上成陣列地設(shè)有蜂窩狀的濾光透鏡安裝孔（8），所述濾光透鏡安裝孔內(nèi)位于UV-LED的上方上下間隔地設(shè)有上、下凸透鏡（9、10）兩層光學(xué)透鏡，所述上凸透鏡的焦距大于下凸透鏡的焦距。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光源光學(xué)模組，其特征在于：所述UV-LED發(fā)出的光經(jīng)上、下凸透鏡聚光后其發(fā)射半角≤2 度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光源光學(xué)模組，其特征在于：所述UV-LED發(fā)出的光經(jīng)上、下凸透鏡聚光后光源的準(zhǔn)直度為2-3度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光源光學(xué)模組，其特征在于：還包括為所述光學(xué)模組提供電流的恒流電源。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
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