[發明專利]鍍覆裝置有效
| 申請號： | 201710763259.5 | 申請日： | 2017-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN107868975B | 公開（公告）日： | 2021-04-06 |
| 發明（設計）人： | 谷澤昭尋;小林賢一;宮澤康之;相馬剛 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | C25D17/00 | 分類號： | C25D17/00;C25D17/06;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本國東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鍍覆 裝置 | ||
1.一種鍍覆裝置，其特征在于，包括：
處理部，對基板進行鍍覆；
保管容器，對用于保持所述基板的基板保持架進行保管；
搬運機，在所述處理部與所述保管容器之間搬運所述基板保持架；
維護區域，與所述保管容器鄰接；以及
基板保持架載體，支承于所述保管容器，
所述基板保持架載體構成為：在所述搬運機的運轉中，能夠以支承有需要維護的所述基板保持架的狀態而在所述保管容器與維護區域之間移動。
2.如權利要求1所述的鍍覆裝置，其特征在于，
還包括隔壁，所述隔壁配置于所述維護區域與所述保管容器之間，
所述隔壁位于比保管容器高的位置。
3.如權利要求1所述的鍍覆裝置，其特征在于，
所述基板保持架載體包括：
臺座，供所述基板保持架載置；以及
轉動體，安裝于所述臺座，
所述轉動體與所述保管容器接觸。
4.如權利要求3所述的鍍覆裝置，其特征在于，
還包括維護構造體，所述維護構造體配置于所述維護區域內，且能夠接收所述基板保持架以及所述基板保持架載體，
所述保管容器包括支承所述轉動體的第一導軌，
所述維護構造體包括支承所述轉動體的第二導軌，
所述第二導軌構成為能夠與所述第一導軌排列成直線狀。
5.如權利要求4所述的鍍覆裝置，其特征在于，
在所述保管容器上排列有多個基板保持架載體，
所述維護區域與所述多個基板保持架載體的排列方向平行地延伸。
6.如權利要求1所述的鍍覆裝置，其特征在于，
所述保管容器具有面向所述維護區域的門，
在所述門安裝有鎖緊機構。
7.如權利要求1所述的鍍覆裝置，其特征在于，
在所述保管容器設有檢測傳感器，所述檢測傳感器檢測所述基板保持架載體是否存在于所述保管容器上的規定位置。
8.如權利要求1所述的鍍覆裝置，其特征在于，
所述保管容器包括收容所述基板保持架的箱體，
所述箱體的底面具有傾斜形狀。
9.一種鍍覆裝置，其特征在于，包括：
處理部，對基板進行鍍覆；
保管容器，對用于保持所述基板的基板保持架進行保管；
搬運機，在所述處理部與所述保管容器之間搬運所述基板保持架；
維護區域，與所述保管容器鄰接；
基板保持架載體，支承于所述保管容器；以及
維護構造體，配置于所述維護區域內，且能夠接收所述基板保持架以及所述基板保持架載體，
所述基板保持架載體構成為：能夠以支承有所述基板保持架的狀態而在所述保管容器與維護區域之間移動，
所述基板保持架載體包括：
臺座，供所述基板保持架載置；以及
轉動體，安裝于所述臺座，
所述轉動體與所述保管容器接觸，
所述保管容器包括支承所述轉動體的第一導軌，
所述維護構造體包括支承所述轉動體的第二導軌，
所述第二導軌構成為能夠與所述第一導軌排列成直線狀，
所述維護構造體包括：
作業臺，固定于所述第二導軌，并從所述第二導軌向下方延伸；以及
支承部件，將所述作業臺支承為能夠旋轉。
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