[發明專利]一種用于加工太陽能硅片的燒結、抗光衰一體機有效
| 申請號: | 201710742885.6 | 申請日: | 2017-08-25 |
| 公開(公告)號: | CN107768480B | 公開(公告)日: | 2023-08-22 |
| 發明(設計)人: | 劉品德;朱速鋒 | 申請(專利權)人: | 蘇州南北深科智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 馬明渡;吳雯玨 |
| 地址: | 215200 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 加工 太陽能 硅片 燒結 抗光衰 一體機 | ||
1.一種用于加工太陽能硅片的燒結、抗光衰一體機,其特征在于:
包括傳輸網鏈、燒結爐以及抗光衰爐,所述燒結爐和抗光衰爐由傳輸網鏈串聯連接;
所述燒結爐包括烘干段和燒結段;所述烘干段包括一烘干爐腔,該烘干爐腔為一隧道式爐腔;在該烘干爐腔的兩端頂部分別開設有一廢氣排出口和一熱風入口,在所述廢氣排出口的頂部設置一燃燒塔,在所述熱風入口的頂部設置一輔助加熱裝置;所述燃燒塔包括一燃燒箱體,所述燃燒箱體上具有一進風口和一出風口,所述燃燒箱體的進風口與所述廢氣排出口對接;所述燃燒箱體的內部空間由隔熱墻分隔為第一燃燒區、過渡區、第二燃燒區以及冷卻區,所述第一燃燒區、過渡區以及第二燃燒區均為一沿豎直方向布置的空間,該三個沿豎直方向布置的空間在水平方向上并列排布,且過渡區位于第一燃燒區和第二燃燒區之間;所述進風口位于第一燃燒區的底部,所述第一燃燒區上部區域與過渡區的上部區域連通,所述過渡區的下部區域與第二燃燒區的下部區域連通,所述第二燃燒區的上部區域與冷卻區的一端區域連通,所述冷卻區的另一端區域與所述出風口連通,以此形成一彎曲繞行的通道;所述第一燃燒區內設有第一加熱模組,該第一加熱模組包括若干沿豎直方向依次間隔布置的第一加熱元件以及若干穿插于相鄰兩第一加熱元件之間的第一隔板,每個第一隔板上均開設有第一通孔,每相鄰兩第一隔板上的第一通孔錯位布置,迫使進入第一燃燒區內的空氣由下至上沿“之”字形路徑流經;所述第二燃燒區內設有第二加熱模組,所述第二加熱模組包括若干沿豎直方向依次間隔布置的第二加熱元件以及若干穿插于相鄰兩加熱元件之間的第二隔板,每個第二隔板上均開設有第二通孔,每相鄰兩個第一隔板上的第二通孔錯位布置,迫使流入第二燃燒區內的空氣由下至上沿“之”字形路徑流經;所述第二燃燒區的底部還設有一高溫風機,該高溫風機的風機入口對著所述過渡區,所述高溫風機的風機出口對著所述第二加熱模組,用于將從第一燃燒區燃燒過的氣體吹向第二加熱模組;所述冷卻區為一沿水平方向布置的空間,冷卻區設置在第一燃燒區、過渡區以及第二燃燒區的上方,且冷卻區內部設有換熱器;所述輔助加熱裝置上設有一供外界空氣進入輔助加熱裝置內部的進氣口和一供加熱后的氣體排出的出氣口,所述輔助加熱裝置上的出氣口與所述烘干爐腔上的熱風入口連通;
所述燒結段包括一燒結爐腔,在該燒結爐腔的兩端及中部頂端分別設有第一排廢口、第二排廢口以及第三排廢口;針對第一排廢口設有第一有機回收裝置,針對所述第二排廢口設有第二有機回收裝置,針對所述第三排廢口設有第三有機回收裝置;所述第一有機回收裝置包括第一箱體結構,該第一箱體結構罩合在所述第一排廢口上,在第一箱體結構的頂部連通有第一排廢管;所述第二有機回收裝置包括第二箱體結構,該第二箱體結構罩合在所述第二排廢口上,在第二箱體結構的頂部連通有第二排廢管;所述第三有機回收裝置包括第三箱體結構,該第三箱體結構罩合在所述第三排廢口上,在第三箱體結構的頂部連通有第三排廢管;
所述抗光衰爐包括一光源箱箱體,光源箱箱體內設有光源,所述光源采用LED燈陣列布置,在所述光源箱箱體內設有冷卻裝置,該冷卻裝置包括風冷冷卻結構和水冷冷卻結構;所述風冷冷卻結構包括一進風接頭、一進風管、一風刀結構、一冷卻風道以及一出風通道;所述進風接頭設在光源箱箱體上,所述進風管、風刀結構、冷卻風道以及出風通道均位于光源箱箱體內;所述進風接頭一端位于光源箱箱體外與空壓機的輸出口連接,另一端位于光源箱箱體內與進風管的進風端連接;所述風刀結構包括一風腔、一進風口以及一狹長狀的風刀出風口,所述進風管的出風端與風刀結構的進風口密封連接,所述風刀結構的風刀出風口與出風通道的進風端相對間隔布置,所述冷卻風道位于風刀結構和出風通道之間,且一端與風刀出風口連通,另一端與出風通道的進風端連通,所述出風通道的出風端與外界連通;所述水冷冷卻結構包括散熱鋁塊本體、前端蓋板以及后端蓋板;所述散熱鋁塊本體的兩端開口,且散熱鋁塊本體內部設有冷水通道,該冷水通道內部設有散熱片;所述前端蓋板與散熱鋁塊本體前端開口密封連接,所述后端蓋板與散熱鋁塊本體后端開口密封連接,所述前端蓋板上開設有前端蓋通孔,前端蓋通孔中密封連接有進水接頭,所述后端蓋板上開設有后端蓋通孔,后端蓋通孔中密封連接有出水接頭。
2.根據權利要求1所述的用于加工太陽能硅片的燒結、抗光衰一體機,其特征在于:所述第一加熱元件和/或第二加熱元件均由陶瓷棒以及纏繞在陶瓷棒上的電阻絲構成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





