[發明專利]磁力傳動大面積蒸發鍍膜機

在審

• 申請號: 201710741048.1
• 申請日: 2017-08-25
• 公開（公告）號: CN107299323A
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 施戈;田琳;彭建
• 申請（專利權）人: 北京泰科諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京高沃律師事務所11569
• 代理人: 王加貴

技術領域

本發明涉及一種鍍膜機，特別是涉及一種磁力傳動的大面積蒸發鍍膜機。

背景技術

大面積樣件鍍膜通常采用真空蒸發鍍膜機，傳統的用于大面積樣件的真空蒸發鍍膜機采用磁流體、齒輪傳動裝置，其中的齒輪咬合位置難以調整，并且真空腔室的密封性差，真空腔室內外傳動傳統容易出現漏氣、卡頓、傳動不暢等問題，設備設備穩定性差、維護成本高，大面積樣件鍍膜不均勻。

發明內容

本發明的目的是提供一種磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，以解決上述現有技術存在的問題，其設備穩定性大大提高，維護成本降低，并且大面積樣件鍍膜更均勻。

為實現上述目的，本發明提供了如下方案：本發明一種磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，包括真空腔室，真空腔室內設置蒸發源，所述真空腔室側壁上設有磁力傳動裝置，所述磁力傳動裝置包括傳動滑塊、外滑動導軌、外磁鐵、內滑動導軌、內磁鐵、基片臺，所述外磁鐵、內磁鐵磁性相反，所述傳動滑塊、外滑動導軌、外磁鐵均位于所述真空腔室外，所述外磁鐵固定于所述傳動滑塊上，所述傳動滑塊可在推動裝置作用下沿所述外滑動導軌滑動，所述內滑動導軌、內磁鐵、基片臺均位于所述真空腔室內，所述基片臺固定于所述內磁鐵上，所述內磁鐵可在所述外磁鐵的作用下在所述內滑動導軌上滑動。

本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，其中，所述推動裝置包括傳動絲杠、旋轉電機，所述真空腔室側壁上設置有安裝支架，所述傳動絲杠一端通過軸承設置于所述安裝支架上，所述旋轉電機安裝于所述真空腔室側壁上帶動傳動絲杠旋轉，所述傳動滑塊螺紋連接于所述傳動絲杠上。

本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，其中，還包括抽真空系統，所述抽真空系統位于所述真空腔室外并且和所述真空腔室內腔連通。

本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，其中，還包括充氣裝置，所述充氣裝置位于所述真空腔室外并且和所述真空腔室內腔聯通。

本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，其中，還包括膜厚檢測裝置，所述膜厚檢測裝置設置于所述真空腔室內。

本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，其中，所述真空腔室側壁上開有觀察窗。

本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機，其中，所述真空腔室側壁上設有照明裝置。

本發明相對于現有技術取得了以下技術效果：由于本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機的真空腔室上設有磁力傳動裝置，磁力傳動裝置包括傳動滑塊、外滑動導軌、外磁鐵、內滑動導軌、內磁鐵、基片臺，外磁鐵、內磁鐵磁性相反，傳動滑塊、外滑動導軌、外磁鐵位于真空腔室外，內滑動導軌、內磁鐵、基片臺均位于真空腔室內，基片臺固定于內磁鐵上，內磁鐵可在外磁鐵的作用下在滑動導軌上滑動，實現真空腔室外的直線傳動到真空腔室內的直線傳動，達到真空腔室無需開孔密封的目的，不易發生漏氣、卡頓、傳動不暢等問題，減少設備維護成本，增加設備穩定性，并且在蒸發源較小的情況下使大面積樣件鍍膜更均勻。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機的總體結構示意圖；

圖2為本發明磁力傳動大面積蒸發鍍膜機中磁力傳動裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明。