[發明專利]電容式柔性壓力傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 201710717485.X | 申請日： | 2017-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN107478360B | 公開（公告）日： | 2020-05-19 |
| 發明（設計）人： | 李從舉;汪濱;楊威 | 申請（專利權）人： | 北京納米能源與系統研究所 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 100083 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 柔性 壓力傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種電容式柔性壓力傳感器，包括：
第一柔性納米纖維薄膜層；
第二柔性納米纖維薄膜層，與第一柔性納米纖維薄膜層相對設置；
第一電極層，附著于第一柔性納米纖維薄膜層內側；
第二電極層，附著于第二柔性納米纖維薄膜層內側；以及
納米纖維復合薄膜介電層，設置于第一電極層與第二電極層之間；
其中所述納米纖維復合薄膜介電層為含有功能納米填料的聚合物復合納米纖維薄膜；所述聚合物復合納米纖維薄膜中所述功能納米填料的材料為：銀鈉米線、SiO2納米顆粒、TiO2納米顆粒或碳納米管。
2.根據權利要求1所述的電容式柔性壓力傳感器，其中：
所述第一柔性納米纖維薄膜層和第二柔性納米纖維薄膜層的材料為如下材料中的一種或幾種：熱塑性聚氨酯彈性體橡膠、聚丙烯腈、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚酰胺、聚偏氟乙烯、聚乙烯醇、聚乳酸和聚醚砜。
3.根據權利要求1或2所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述第一電極層和第二電極層的材料為如下材料中的一種或幾種：銀納米線、銀納米顆粒導電油墨涂層。
4.根據權利要求1或2所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述第一電極層和第二電極層的材料為：碳納米管、石墨烯和氧化銦錫形成的涂層。
5.根據權利要求1或2所述的電容式柔性壓力傳感器，其中：
所述含有功能納米填料的聚合物復合納米纖維薄膜中的聚合物納米纖維的材料為如下材料中的一種或幾種：聚丙烯腈、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚酰胺、聚偏氟乙烯、聚乙烯醇、聚氨酯、聚乳酸和聚醚砜。
6.根據權利要求3所述的電容式柔性壓力傳感器，其中：
所述含有功能納米填料的聚合物復合納米纖維薄膜中的聚合物納米纖維的材料為如下材料中的一種或幾種：聚丙烯腈、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚酰胺、聚偏氟乙烯、聚乙烯醇、聚氨酯、聚乳酸和聚醚砜。
7.根據權利要求4所述的電容式柔性壓力傳感器，其中：
所述含有功能納米填料的聚合物復合納米纖維薄膜中的聚合物納米纖維的材料為如下材料中的一種或幾種：聚丙烯腈、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚酰胺、聚偏氟乙烯、聚乙烯醇、聚氨酯、聚乳酸和聚醚砜。
8.根據權利要求5所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述納米纖維復合薄膜介電層的厚度介于20μm～50μm之間。
9.根據權利要求6或7所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述納米纖維復合薄膜介電層的厚度介于20μm～50μm之間。
10.根據權利要求5所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述功能納米填料的質量分數介于0.1％～2％之間。
11.根據權利要求6-8中任一項所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述功能納米填料的質量分數介于0.1％～2％之間。
12.根據權利要求9所述的電容式柔性壓力傳感器，其中，所述功能納米填料的質量分數介于0.1％～2％之間。
13.根據權利要求1所述的電容式柔性壓力傳感器，其中：
所述功能納米填料為銀鈉米線，添加量為質量分數介于0.1％～0.9％之間；或
所述功能納米填料為SiO2納米顆粒，添加量為質量分數介于0.1％～0.6％之間；或
所述功能納米填料為TiO2納米顆粒，添加量為質量分數介于0.1％～0.6％之間。
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