[發明專利]檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法

有效

• 申請號: 201710711805.0
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN107768224B
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 網倉紀彥;實吉梨沙子
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 11322 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍淳

1.一種檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于，

所述等離子體處理裝置包括：

腔室主體；

設置在由所述腔室主體提供的腔室內的載置臺；和

氣體排出部，其設置在所述載置臺的上方且具有形成有多個氣體排出孔的所述噴淋板，

所述方法包括：

設定從第一流量控制器輸出的氣體的流量的步驟；和

在將以設定的所述流量從所述第一流量控制器輸出的氣體供給到所述氣體排出部、且在所述第一流量控制器與所述氣體排出部之間分支而供給到壓力控制式的第二流量控制器的內部的流路的狀態下，利用該第二流量控制器的壓力計取得表示該第二流量控制器的內部的所述流路中的壓力的測定值的步驟。

2.如權利要求1所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于：

所述測定值為所述壓力的多個瞬時值的平均值。

3.如權利要求1所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于：

所述第二流量控制器與所述噴淋板的靠所述腔室的一側的開口端之間的流路長度為1.5m以下。

4.如權利要求1～3中任一項所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于：

所述多個氣體排出孔構成多個氣體排出孔組，

所述等離子體處理裝置還包括分流器，該分流器具有與所述第一流量控制器連接的輸入和分別與所述多個氣體排出孔組連接的多個輸出，

從所述第二流量控制器延伸的配管與連接所述多個輸出中的一個和所述多個氣體排出孔組中的一個氣體排出孔組的配管連接。

5.如權利要求1～3中任一項所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于：

所述多個氣體排出孔構成多個氣體排出孔組，

所述等離子體處理裝置還包括分流器，該分流器具有與所述第一流量控制器連接的輸入和分別與所述多個氣體排出孔組連接的多個輸出，

從所述第二流量控制器延伸的配管與連接所述分流器的所述輸入和所述第一流量控制器的配管連接。

6.如權利要求1～3中任一項所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于：

所述多個氣體排出孔構成多個氣體排出孔組，該多個氣體排出孔組分別形成在與在所述噴淋板的板厚方向上延伸的軸線同軸的該噴淋板的多個區域，

所述等離子體處理裝置還包括：

具有與所述第一流量控制器連接的輸入和分別與所述多個氣體排出孔組連接的多個輸出的分流器；

分別連接所述分流器的所述多個輸出和所述多個氣體排出孔組的多個第一配管；

壓力控制式的多個流量控制器；和

分別連接所述多個流量控制器和所述多個第一配管的多個第二配管，

在取得測定值的所述步驟中，在將以設定的所述流量從所述第一流量控制器輸出的所述氣體經由與選自所述多個氣體排出孔組中的一個氣體排出孔組的連接的所述多個第一配管中的一個第一配管供給到所述氣體排出部、且供給到作為所述第二流量控制器的所述多個流量控制器中的與該一個第一配管連接的一個流量控制器的內部的流路的狀態下，利用該一個流量控制器的壓力計，取得表示該一個流量控制器的內部的所述流路中的壓力的測定值，

通過依次選擇所述多個氣體排出孔組作為所述一個氣體排出孔組來執行取得測定值的所述步驟。

7.如權利要求1～3中任一項所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于，還包括：

將所述測定值與預先準備的基準值比較的步驟。

8.如權利要求1～3中任一項所述的檢查等離子體處理裝置的噴淋板的方法，其特征在于：

包括設定流量的所述步驟和取得測定值的所述步驟的流程使用不同的流量作為該流量反復進行，從而取得包括所述測定值的多個測定值。