[發明專利]一種帶有階梯場板和階梯鈍化層的晶體管

在審

• 申請號: 201710711147.5
• 申請日: 2017-08-18
• 公開（公告）號: CN107591439A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 唐武;童武林
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H01L29/06
• 分類號: H01L29/06;H01L29/40;H01L29/47;H01L29/778
• 代理公司: 電子科技大學專利中心51203
• 代理人: 閆樹平

1.一種帶有階梯場板和階梯鈍化層的晶體管，由下而上依次包括襯底、成核層、緩沖層、溝道層、勢壘層和鈍化層，其特征在于：

所述勢壘層AlGaN，溝道層為GaN，兩者形成異質結；勢壘層上設置有柵極、漏極和源極；柵極金屬采用自下而上依次為Ni/Au的二層金屬，柵極金屬和AlGaN勢壘層形成肖特基接觸；源極金屬和漏極金屬為多層金屬Ti/Al/Pt/Au，與AlGaN勢壘層形成歐姆接觸；

所述鈍化層包括源柵鈍化層和柵極漏側鈍化層；源柵鈍化層在柵極金屬和源極金屬之間；柵極漏側鈍化層位于柵極金屬和漏極金屬之間，包括階梯鈍化層和階梯場板與漏極之間的鈍化層，階梯鈍化層分為第一階鈍化層和第二階鈍化層，其階梯鈍化層部分與階梯場板大小相適應，第一階鈍化層長度為1μm，厚度為100nm，第二階鈍化層與第一階的長度比值為0.6-1.2，厚度比值為1.4-2.2；

所述階梯場板位于階梯鈍化層上部，采用自下而上依次為Ni/Au的二層金屬，由柵極向柵極漏側鈍化層上方外延形成，柵極與階梯場板為一整體，階梯場板的長度區間為柵漏間距的1/4-1/2。

2.如權利要求1所述帶有階梯場板和階梯鈍化層的晶體管，其特征在于：所述第二階鈍化層長度為1.2μm，厚度為0.14μm。