[發明專利]一種TiCl4

有效

• 申請號: 201710709092.4
• 申請日: 2017-08-17
• 公開（公告）號: CN107243237B
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 羅啟順;徐巍
• 申請（專利權）人: 東方弗瑞德（北京）科技有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75;B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577
• 代理人: 呂學文;武媛

1.一種TiCl₄尾氣吸收裝置，其特征在于：所述TiCl₄尾氣吸收裝置包括儲料罐、緩沖罐、一級堿液罐和二級堿液罐，所述一級堿液罐和二級堿液罐內均裝有堿液，所述儲料罐和緩沖罐之間通過放氣管相連通，所述放氣管上設有放氣閥，所述緩沖罐上設有壓力傳感器，所述緩沖罐和一級堿液罐之間通過一級尾氣管相連通，所述一級尾氣管進氣端設于緩沖罐內，所述一級尾氣管出氣端設于一級堿液罐內堿液液面以下，所述一級尾氣管上設有一級尾氣閥，所述一級堿液罐和二級堿液罐之間通過二級尾氣管相連通，所述二級尾氣管進氣端設于一級堿液罐內堿液液面以上，所述二級尾氣管出氣端設于二級堿液罐內堿液液面以下，所述二級堿液罐連通尾氣排出管，所述尾氣排出管進氣端設于二級堿液罐內堿液液面以上，所述尾氣排出管出氣端置于空氣中，所述儲料罐上還連有進料管，所述進料管上設有進料閥，所述尾氣排出管上設有氯化氫氣體傳感器、尾氣排出支管和尾氣排出閥，所述氯化氫氣體傳感器位于靠近二級堿液罐一側，所述尾氣排出閥位于靠近尾氣排出管出氣端一側，所述尾氣排出支管進氣端設于氯化氫氣體傳感器和尾氣排出閥之間，所述尾氣排出支管出氣端設于二級堿液罐內堿液液面以下，所述尾氣排出支管上設有尾氣排出支閥、尾端支管彈性氣囊和尾氣排出支管保護閥，所述尾氣排出支閥位于靠近尾氣排出支管進氣端一側，所述尾氣排出支管保護閥位于尾氣排出支管出氣端一側，所述尾端支管彈性氣囊設于尾氣排出支閥和尾氣排出支管保護閥之間，所述尾端支管彈性氣囊外部設有尾端支管氣囊夾；

所述二級尾氣管上設有四氯化鈦氣體傳感器、二級尾氣支管和二級尾氣閥，所述四氯化鈦氣體傳感器位于靠近一級堿液罐一側，所述二級尾氣閥位于靠近二級堿液罐一側，所述二級尾氣支管進氣端設于四氯化鈦氣體傳感器和二級尾氣閥之間，所述二級尾氣支管出氣端設于一級堿液罐內堿液液面以下，所述二級尾氣支管上設有二級尾氣支閥、二級支管彈性氣囊和二級尾氣支管保護閥，所述二級尾氣支閥位于靠近二級尾氣支管進氣端一側，所述二級尾氣支管保護閥位于二級尾氣支管出氣端一側，所述二級支管彈性氣囊設于二級尾氣支閥和二級尾氣支管保護閥之間，所述二級支管彈性氣囊外部設有二級支管氣囊夾；

所述TiCl₄尾氣吸收裝置還設有控制模塊，所述控制模塊設有信號輸入端和信號輸出端，所述信號輸入端與壓力傳感器、四氯化鈦氣體傳感器和氯化氫氣體傳感器電連接，所述信號輸出端與放氣閥、一級尾氣閥、二級尾氣閥、二級尾氣支閥、二級尾氣支管保護閥、二級支管氣囊夾、尾氣排出閥、尾氣排出支閥、尾氣排出支管保護閥和尾端支管氣囊夾電連接；

當實時TiCl4氣體濃度數據超過四氯化鈦氣體傳感器濃度檢出限時關閉二級尾氣閥，打開二級尾氣支閥，尾氣匯集至二級支管彈性氣囊，通過控制二級支管氣囊夾擠壓二級支管彈性氣囊，同時打開二級尾氣支管保護閥排氣，使尾氣重新返回到一級堿液罐重新處理，當二級支管彈性氣囊擠壓至極限壓縮狀態時關閉二級尾氣支管保護閥，以防二級支管彈性氣囊在吸氣時使堿液倒吸，并通過放松二級支管氣囊夾使二級支管彈性氣囊吸氣膨脹，重復吸氣-排氣過程，尾氣重新返回到一級堿液罐重新處理，只有當實時TiCl₄氣體濃度數據低于四氯化鈦氣體傳感器濃度檢出限時關閉二級尾氣支閥，打開二級尾氣閥，尾氣進入二級堿液罐進行堿液處理；尾氣經過一級堿液罐和二級堿液罐的兩級堿液處理后，通過氯化氫氣體傳感器采集的HCl實時氣體濃度數據傳輸到控制模塊，控制模塊根據HCl氣體濃度設定值1.9mg/m³控制尾氣排出閥和尾氣排出支閥，當實時HCl氣體濃度數據超過1.9mg/m³時關閉尾氣排出閥，打開尾氣排出支閥，尾氣匯集至尾端支管彈性氣囊，通過控制尾端支管氣囊夾擠壓尾端支管彈性氣囊，同時打開尾氣排出支管保護閥排氣，使尾氣重新返回到二級堿液罐重新處理，當尾端支管彈性氣囊擠壓至極限壓縮狀態時關閉尾氣排出支管保護閥，以防尾端支管彈性氣囊在吸氣時使堿液倒吸，并通過放松尾端支管氣囊夾使尾端支管彈性氣囊吸氣膨脹，重復吸氣-排氣過程，只有當實時HCl氣體濃度數據低于1.9mg/m³時關閉尾氣排出支閥，打開尾氣排出閥，將達標尾氣排出到空氣中。

2.根據權利要求1所述的一種TiCl₄尾氣吸收裝置，其特征在于：所述緩沖罐、一級堿液罐和二級堿液罐底部側壁均設有排料口。