[發明專利]光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法有效
| 申請號： | 201710702270.0 | 申請日： | 2017-08-16 |
| 公開（公告）號： | CN107297691B | 公開（公告）日： | 2019-12-03 |
| 發明（設計）人： | 周煉;趙世杰;袁志剛;謝瑞清;陳賢華;劉民才;張清華;王健 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號： | B24D18/00 | 分類號： | B24D18/00;B24B53/12 |
| 代理公司： | 51226 成都希盛知識產權代理有限公司 | 代理人： | 蒲敏<國際申請>=<國際公布>=<進入國 |
| 地址： | 621000 四*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金剛石砂輪 修整 砂輪 平面磨床 圓弧過渡 超精密 外圓面 棱邊 亞表面缺陷 不穩定性 端面研磨 復合截面 工藝要求 光學加工 兩側邊緣 平滑圓弧 砂輪端面 應力集中 元件加工 軸向平行 研磨 平行度 平直線 修整器 旋轉軸 直線段 進給 磨削 豎向 下傾 修銳 修形 平行 跳動 加工 | ||
1.光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：
1)將金剛石砂輪(3)安裝于超精密平面磨床主軸上，將修整器(1)固定于超精密平面磨床工作臺上，并調整修整器(1)上的修整砂輪(2)的旋轉軸與超精密平面磨床豎向Y軸之間的平行度；
2)修整砂輪(2)端面研磨修整金剛石砂輪(3)的外圓面，同時金剛石砂輪(3)沿機床X軸的方向作進給運動，去除金剛石砂輪(3)的表面磨損鈍化層，使金剛石砂輪(3)外圓面獲得滿足元件加工工藝要求的圓周跳動精度及軸向平行度；
3)調整金剛石砂輪(3)進給方向與超精密平面磨床X軸成下傾角度，繼續修整加工，修整砂輪(2)的端面研磨金剛石砂輪(3)的兩側棱邊為平滑圓弧，最終保證金剛石砂輪(3)的兩側過渡圓弧高度大于加工元件時的每刀磨削深度，且金剛石砂輪(3)的中央部分殘留的平直段大于加工元件時的光柵式磨削間距。
2.如權利要求1所述的光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，步驟1)所述的平行度是指：修整砂輪(2)的旋轉軸軸線與超精密平面磨床Y軸之間的夾角滿足公式(1)：
其中：α為修整砂輪(2)的旋轉軸與超精密平面磨床豎向Y軸之間的角度；W為金剛石砂輪(3)的寬度；ep為金剛石砂輪(3)的軸向平行度誤差。
3.如權利要求1所述的光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，步驟2)所述的研磨修整的工藝參數為：金剛石砂輪(3)的轉速為400r/min～600r/min；修整砂輪(2)的轉速為800r/min～1200r/min；修整進給速度為80mm/min～120mm/min；每刀修整深度為2μm～10μm。
4.如權利要求1所述的光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，步驟2)所述的圓周跳動精度≤2μm，軸向平行度≤3μm。
5.如權利要求1所述的光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，步驟3)所述金剛石砂輪(3)進給方向與超精密平面磨床X軸的傾斜角度滿足公式(2)：
其中：β為金剛石砂輪(3)進給方向下傾角度；dp為金剛石砂輪(3)的兩側過渡圓弧高度；rg為修整砂輪(2)的半徑；W為金剛石砂輪(3)的寬度；L為修整后金剛石砂輪(3)的中央殘留直線段長度。
6.如權利要求1所述的光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，所述的超精密平面磨床可實現橫向X軸和豎向Y軸聯動，所述的超精密平面磨床主軸旋轉誤差小于1μm。
7.如權利要求1所述的光學加工平行金剛石砂輪復合截面輪廓的修整方法，其特征在于，所述的修整器(1)上的修整砂輪(2)高速旋轉端面跳動誤差小于5μm。
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