[發明專利]研磨裝置

有效

• 申請號: 201710695455.3
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN107756238B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 山中聰
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B57/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種研磨裝置，其中，

該研磨裝置具有：

卡盤工作臺，其對晶片進行保持；

研磨構件，其將研磨墊安裝成能夠旋轉，該研磨墊具有對該卡盤工作臺所保持的晶片進行研磨的研磨面；

漿料提供構件，其對該研磨面提供漿料；

研磨進給構件，其對該研磨構件在相對于該卡盤工作臺所保持的晶片的上表面接近或離開的方向上進行研磨進給；以及

漿料循環構件，其在該卡盤工作臺的下側蓄留該漿料而對該研磨面循環提供該漿料，

該漿料循環構件包含：

環狀凹形的桶部，其在使該研磨墊的該研磨面與該卡盤工作臺所保持的晶片接觸的研磨位置對該卡盤工作臺和從該卡盤工作臺的保持面上伸出的該研磨墊進行收納；

空氣噴出口，其配設在該桶部的底板上，對從該卡盤工作臺的保持面上伸出的該研磨墊的該研磨面噴射漿料；

配管，其將該空氣噴出口與空氣提供源連通；

開口，其形成在該配管的側壁上；以及

閥，其對從空氣提供源向該配管的空氣提供和截斷進行控制，

在要將漿料蓄留在該桶部中時，打開該閥而向該配管提供空氣，將由該漿料提供構件提供給該研磨面的漿料蓄留在該桶部中，在要將漿料從該桶部排出時，關閉該閥而使該空氣噴出口作為漿料排出口來發揮作用，使漿料在該配管中在與空氣的提供方向相反的方向上流動而使漿料從該開口排出。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置，其中，

所述漿料循環構件還具有節流閥，該節流閥在比所述配管的所述開口靠空氣提供源側的位置對從空氣提供源提供給該配管的空氣的流量進行調整，

該節流閥具有：

第1節流閥，其將使漿料蓄留于所述桶部時的提供給該配管的空氣調整為第1空氣流量；

第2節流閥，其比該第1節流閥打開得大，將對從所述卡盤工作臺的保持面上伸出的所述研磨面噴射蓄留在所述桶部中的漿料時的提供給該配管的空氣調整為第2空氣流量，該第2空氣流量比該第1空氣流量多；以及

切換部，其對該第1節流閥和該第2節流閥進行切換。