[發明專利]用于分配系統的自動的多頭清潔器及相關方法有效
| 申請號: | 201710694320.5 | 申請日: | 2013-10-08 |
| 公開(公告)號: | CN107570365B | 公開(公告)日: | 2020-03-17 |
| 發明(設計)人: | 麗塔·莫漢蒂;羅伯特·W.·特雷西;斯科特·A.·里德 | 申請(專利權)人: | 伊利諾斯工具制品有限公司 |
| 主分類號: | B05B15/52 | 分類號: | B05B15/52 |
| 代理公司: | 上海脫穎律師事務所 31259 | 代理人: | 脫穎 |
| 地址: | 美國伊*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 分配 系統 自動 多頭 清潔 相關 方法 | ||
1.一種用于自動地清潔材料沉積系統的噴嘴的方法,所述材料沉積系統配置成將材料沉積在電子基板上,所述材料沉積系統包括:連接到吊架的兩個沉積頭,每個沉積頭均包括針;針清潔器組件,所述針清潔器組件能夠在針清潔器吊架上移動,所述針清潔器組件配置成同時清潔所述沉積頭的針,所述方法包括:
通過所述材料沉積系統實施沉積操作;
通過所述針清潔器組件對所述兩個沉積頭的針同時進行清潔,所述針清潔器組件包括通過兩個支架固定到所述針清潔器吊架的底板,以及固定到所述底板的兩個針清潔器,每個所述針清潔器用于一個沉積頭,所述底板具有在其中形成的槽以使能夠在所述系統的建立和校正期間對所述兩個針清潔器進行定位;以及
通過沿所述底板的長度相對于第二針清潔器滑動第一針清潔器來調節所述兩個針清潔器之間的間隔,以對應于所述沉積頭的兩個所述針之間的間隔。
2.根據權利要求1所述的方法,其中,清潔所述兩個沉積頭的所述針包括通過視覺系統獲取所述針清潔器的至少一個圖像,以及確定所述沉積頭和所述針清潔器之間的偏移距離。
3.根據權利要求2所述的方法,其中,清潔所述兩個沉積頭的所述針還包括通過將一個所述針的位置固定并將另一個所述針的位置調節到期望的位置來調節所述針的間隔。
4.根據權利要求3所述的方法,其中調節所述針的所述間隔由所述材料沉積系統的控制器來實施。
5.根據權利要求3所述的方法,其中所述針的所述間隔顯示在所述材料沉積系統上的顯示器上。
6.根據權利要求3所述的方法,其中如果所述針的所述間隔不在預定的容差內,則移動可調節的所述針并重復清潔所述兩個沉積頭的所述針的過程。
7.根據權利要求1所述的方法,其中所述針清潔器組件安裝到吊架上,所述吊架配置成在X軸線方向和Y軸線方向中的至少一個上移動所述針清潔器組件。
8.根據權利要求1所述的方法,還包括核實用于每個沉積頭的針孔口的尺寸。
9.根據權利要求8所述的方法,還包括操作轉動分度器以選擇正確尺寸的針孔口并將適當的針孔口移動到恰當的位置。
10.一種用于將材料沉積在電子基板上的材料沉積系統,所述材料沉積系統包括:
框架;
支承件,所述支承件連接到所述框架,所述支承件配置成在沉積操作期間支承所述電子基板;
吊架,所述吊架連接到所述框架;
沉積頭,所述沉積頭連接到所述吊架,所述沉積頭包括針,所述沉積頭能夠通過所述吊架的移動在所述支承件的上方移動;
針清潔器組件,所述針清潔器組件是真空裝置,并且所述針清潔器組件包括孔口,所述孔口配置成用于插入待清潔的所述沉積頭的所述針的末端;以及
控制器,所述控制器配置成控制所述針清潔器組件的操作以實施針清潔操作,
其特征在于,
所述材料沉積系統包括兩個所述沉積頭,每個所述沉積頭包括針,
所述針清潔器組件能夠在針清潔器吊架上移動以同時清潔所述沉積頭的所述針,
其中所述針清潔器組件包括通過兩個支架固定到所述針清潔器吊架的底板,以及固定到所述底板的兩個針清潔器,每個所述針清潔器用于一個沉積頭,所述底板具有在其中形成的槽以使能夠在所述系統的建立和校正期間對所述兩個針清潔器進行定位,
其中通過沿所述底板的長度相對于第二針清潔器滑動第一針清潔器來調節所述兩個針清潔器之間的間隔,以對應于所述沉積頭的兩個所述針之間的間隔。
11.根據權利要求10所述的材料沉積系統,其中每個針清潔器包括位于其各自的針清潔器內的帽,
其中每個所述帽包括配置成容納所述沉積頭的所述針的多個孔口,
其中所述多個孔口的尺寸適于容納具有不同直徑的針。
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