[發明專利]壓力測量單元和用于施加測量結構的方法

在審

• 申請號: 201710676952.9
• 申請日: 2017-08-09
• 公開（公告）號: CN107727301A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: H·賽班德;M·施利茲庫斯;R·瓦爾;S·萊赫伯格;V·諾特曼
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L19/00;G01L19/14
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 蘇娟,王楠

1.壓力測量單元(50)，其具有構成測量膜(52.1)的載體(52)，所述測量膜在待檢測的壓力(P)的作用下變形，其中在所述載體(52)上施加有測量結構(55)，該測量結構檢測所述測量膜(52.1)的變形并且產生代表所檢測的壓力(P)的至少一個電輸出信號，其特征在于，所述測量結構(55)印制在所述載體(52)上。

2.根據權利要求1所述的壓力測量單元，其特征在于，在所述測量結構(55)和所述載體(52)的表面之間施加有絕緣層(54)。

3.根據權利要求1或2所述的壓力測量單元，其特征在于，在所述測量結構(55)上施加有保護層(57)。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的壓力測量單元，其特征在于，所述測量結構(55)具有測量電橋(56)和至少一個第一觸點(56.3)，通過該第一觸點能采集所述至少一個電輸出信號。

5.根據權利要求4所述的壓力測量單元，其特征在于，所述測量電橋(57)包括多個電阻跡線(56.1)和導電跡線(56.2)，所述導電跡線將所述電阻跡線(56.1)和/或所述至少一個第一觸點(56.3)通過電路相互連接。

6.用于將測量結構(55)施加到壓力測量單元(50)的載體(52)上的方法，其中清潔所述載體(52)的表面，其特征在于，將所述測量結構(55)印制在所述載體(52)的表面上。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，在印制所述測量結構(55)之前在所述載體(52)的已清潔的表面上施加絕緣層(54)。

8.根據權利要求6或7所述的方法，其特征在于，在已印制的所述測量結構(55)上施加保護層(57)。

9.根據權利要求7或8所述的方法，其特征在于，借助于大氣等離子工藝施加所述絕緣層(54)和/或所述保護層(57)。

10.測量機構(9)，其具有壓力測量單元(50)、傳感器載體(10)和電路載體(60)，其中所述壓力測量單元(50)產生代表被檢測的壓力(P)的至少一個電輸出信號并且具有至少一個第一觸點(56.3)，通過該第一觸點能采集所述至少一個電輸出信號，其中所述壓力測量單元(50)與所述傳感器載體(10)機械連接，該傳感器載體在待測量的介質和所述壓力測量單元(50)之間建立流體連接，其中所述電路載體(60)與所述傳感器載體(10)機械連接，并且所述壓力測量單元(50)的至少一個第一觸點(56.3)在電氣上與所述電路載體(60)的至少一個第二觸點(66A、66B、66C)電連接，該第二觸點能與布置在電路板(40)上的電子電路(44)的第三觸點(46)連接，其特征在于，所述測量機構(9)構成用于壓力傳感器單元(1)的預裝配組件，其中所述壓力測量單元(50)根據權利要求1至5中至少一項實施。

11.根據權利要求10所述的測量機構，其特征在于，所述載體(52)實施為深沖套(52A)或盤(52B)或流體塊(8)的區段(52C)。

12.根據權利要求10或11所述的測量機構，其特征在于，所述傳感器載體(10A、10B)實施為車削件，其具有軸向內孔和環形固定法蘭(12)以及至少一個連接區域(16)，其中在所述內孔的第一端部上構造有測量連接部(18)，并且所述內孔的第二端部通過所述壓力測量單元(50A、50B)的測量膜(52.1)閉合。

13.根據權利要求12所述的測量機構，其特征在于，所述深沖套(52A)和/或所述盤(52B)流體密封地與所述傳感器載體(10A、10B)連接。

14.根據權利要求13所述的測量機構，其特征在于，實施為盤(52B)的所述載體(52)成形在所述傳感器載體(10B)上。

15.根據權利要求11所述的測量機構，其特征在于，所述流體塊(8)構成所述傳感器載體(10C)并且具有流體通道(8.1)，該流體通道流體密封地由所述壓力測量單元(50)的測量膜(52.1)封閉。