[發(fā)明專利]多層復合結構毛細噴孔及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710672640.0
• 申請日: 2017-08-08
• 公開（公告）號: CN107569298B
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設計）人: 姚錦元
• 申請（專利權）人: 上海惠浦機電科技有限公司
• 主分類號: A61F2/06
• 分類號: A61F2/06;B29C64/10
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 徐紅銀

1.一種毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述毛細噴孔是由引流部件、獨立懸空部件和用于支撐所述獨立懸空部件的梁橋部件組合而成的多層復合結構，所述梁橋部件位于所述引流部件和所述獨立懸空部件之間，形成懸臂梁結構；

制備方法包括如下步驟：

S1：繪制引流部件、梁橋部件和獨立懸空部件三個獨立模塊，在每個模塊上制作出對準符號，用以不同結構模具采用原位制造時上下對準用，然后將圖形用光刻蝕制作出三塊獨立的微米級及以下線寬的、依附于基板上的Cr薄膜圖形版；

S2：根據(jù)制作的要求選擇基板作為襯底，制備一層與基板和光敏高分子材料均有良好粘結效果的粘結層，再在粘結層上噴涂一層均厚的液狀光敏高分子材料，將噴涂上去的液狀光敏高分子材料，烘干成固體；

S3：將制作好的Cr薄膜圖形版面對面緊壓在固體光敏高分子材料上，然后采用紫外光源，對Cr薄膜沒有阻擋的光敏高分子材料進行光化學反應，得到光敏高分子材料基板；

S4：將光敏高分子材料基板放入化學試劑，溶解掉需要去除的部分，從而形成所需注模的三維微模具；

S5：用電化學微電鑄的方法依次逐層澆注出所需要的三維結構即獨立懸空、梁橋部件和引流部件；

S6：利用原位制造技術，將預先在Cr薄膜圖形版上畫好的對準符號對準下一個圖形，重復S2-S5步驟一層一層的疊加，制作出獨立懸空、梁橋部件和引流部件融為一體的三位復合結構的毛細噴孔主體；

S7：將高分子材料碳化，然后進一步通氧變成二氧化碳，去除光敏高分子材料，整體釋放出一體化的完整毛細噴孔孔道。

2.根據(jù)權利要求1所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述襯底采用玻璃或石英。

3.根據(jù)權利要求1所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述引流部件、所述梁橋部件和所述獨立懸空部件是依次首尾相連，呈自下而上或自上而下設置。

4.根據(jù)權利要求1所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述引流部件為漿液的引流孔，用于控制漿液流入量。

5.根據(jù)權利要求1所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述獨立懸空部件是一根獨立懸空柱狀部件，其四周為所述毛細噴孔的孔道，從俯視圖看，所述孔道、所述獨立懸空部件形成一環(huán)狀，其中柱狀部件為所述環(huán)狀的中心圖形，是產品內腔形成中空的成型腔體。

6.根據(jù)權利要求5所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述的孔道為無縫的環(huán)狀孔道，用于漿液流經的通道，即中空纖維成形的腔體，也是毛細噴孔內部的空洞。

7.根據(jù)權利要求5所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述柱狀部件的形狀為多種形狀，所述孔道形狀也為多種形狀，所述孔道位于所述柱狀部件外周，兩者的形狀相同或不同。

8.根據(jù)權利要求5所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述孔道的外徑小于400μm，內徑外徑的間距小于50μm，精度誤差0.5μm。

9.根據(jù)權利要求8所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述孔道外徑小于100μm。

10.根據(jù)權利要求1-9任一項所述的毛細噴孔的制備方法，其特征在于：所述梁橋部件為支撐梁。