[發(fā)明專利]一種硅片批量中轉(zhuǎn)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710625983.1
• 申請(qǐng)日: 2017-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN107634024A
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張學(xué)強(qiáng);戴軍;張建偉;賈宇鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅博特科智能科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11369
• 代理人: 韓飛

1.一種硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括：

花籃切換機(jī)構(gòu)(1)；以及硅片頂升機(jī)構(gòu)(2)，

其中，花籃切換機(jī)構(gòu)(1)包括傳送組件(11)以及設(shè)于該傳送組件(11)上的兩組硅片花籃，兩組所述硅片花籃在傳送組件(11)的驅(qū)動(dòng)下交替地作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，花籃切換機(jī)構(gòu)(1)的左右兩端分別設(shè)有左初始工位、右初始工位、以及設(shè)于所述左初始工位與右初始工位之間的中轉(zhuǎn)工位，硅片頂升機(jī)構(gòu)(2)設(shè)于所述中轉(zhuǎn)工位處并使得花籃切換機(jī)構(gòu)(1)從其內(nèi)部穿過。

3.如權(quán)利要求2所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，硅片頂升機(jī)構(gòu)(2)包括：

設(shè)于傳送組件(11)旁側(cè)的至少一組頂升組件；以及

設(shè)于所述頂升組件正上方的硅片置中組件(23)，

其中，所述頂升組件包括驅(qū)動(dòng)部、支座、設(shè)于該支座上的豎直導(dǎo)軌、以及與該豎直導(dǎo)軌配接的頂升架，所述頂升架在所述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)下沿所述豎直導(dǎo)軌在豎直平面內(nèi)升降。

4.如權(quán)利要求3所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，兩組所述硅片花籃在水平面內(nèi)交替地作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)，當(dāng)所述頂升架位于最低處時(shí)，所述頂升組件位于所述硅片花籃的運(yùn)動(dòng)平面之下。

5.如權(quán)利要求3所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，硅片置中組件(23)包括：

支架(231)；以及

設(shè)于支架(231)中的至少一組置中部，

其中，所述置中部包括由前驅(qū)動(dòng)氣缸(232)驅(qū)動(dòng)的前置中片(2321)、以及由后驅(qū)動(dòng)氣缸(233)驅(qū)動(dòng)的后置中片(2331)，前置中片(2321)及后置中片(2331)相互平行且間隔一定的距離以形成位于兩者之間的置中通道。

6.如權(quán)利要求5所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，前置中片(2321)及后置中片(2331)與所述硅片花籃的運(yùn)動(dòng)方向相平行。

7.如權(quán)利要求5所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述硅片花籃在所述置中部與頂升架之間往復(fù)穿梭。

8.如權(quán)利要求5所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，前置中片(2321)及后置中片(2331)的內(nèi)側(cè)均設(shè)有若干個(gè)用于夾持硅片的硅片夾持槽。

9.如權(quán)利要求1所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，傳送組件(11)包括：

兩根并列設(shè)置的主傳送導(dǎo)軌(111)；以及

設(shè)于主傳送導(dǎo)軌(111)旁側(cè)的輔傳送導(dǎo)軌(112)，

其中，主傳送導(dǎo)軌(111)與輔傳送導(dǎo)軌(112)平行且間隔設(shè)置，兩根主傳送導(dǎo)軌(111)部分重疊且重疊部分相固接。

10.如權(quán)利要求9所述的硅片批量中轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，主傳送導(dǎo)軌(111)及輔傳送導(dǎo)軌(112)上分別設(shè)有用于承托所述硅片花籃的主滑塊(1112)及輔滑塊(1121)，主傳送導(dǎo)軌(111)上設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)主滑塊(1112)往復(fù)滑移的驅(qū)動(dòng)器(1111)。