[發(fā)明專利]用于光學裝置封裝體的窗構件，光學裝置封裝體，制造方法和光學裝置可安裝封裝體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710622430.0
• 申請日: 2017-07-27
• 公開（公告）號: CN107689412B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設計）人: 上田修平;竹內正樹;松井晴信
• 申請（專利權）人: 信越化學工業(yè)株式會社
• 主分類號: H01L33/58
• 分類號: H01L33/58;H01L33/56
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 杜麗利

1.待與容納座組合的窗構件，該容納座在其中容納具有發(fā)光方向的光學裝置，該窗構件在發(fā)光方向上被設置于該容納座之前，

該窗構件為具有其中至少一個是分布著微觀凹透鏡狀的具有2-20μm直徑的凹窩群的粗糙表面的前表面和后表面的合成石英玻璃構件，

該窗構件具有為部分球形或者部分橢球形狀的凸面形狀，該凸面形狀表面具有0.5-30mm的曲率半徑。

2.根據(jù)權利要求1所述的窗構件，其中該粗糙表面具有0.1-0.5μm的表面粗糙度Ra。

3.根據(jù)權利要求1所述的窗構件，其包括具有厚度0.1-5mm的最薄部分和具有厚度0.4-9.9mm的最厚部分。

4.可安裝光學裝置的封裝體，其包括用于在其中容納光學裝置的容納座和根據(jù)權利要求1-3中任一項所述的窗構件。

5.光學裝置封裝體，其包括根據(jù)權利要求4所述的封裝體和容納在容納座中的光學裝置。

6.根據(jù)權利要求5所述的光學裝置封裝體，其中該光學裝置是發(fā)光裝置。

7.根據(jù)權利要求6所述的光學裝置封裝體，其中該光學裝置發(fā)射波長300nm以下的光。

8.制備用于光學裝置封裝體的根據(jù)權利要求1-3中任一項所述的窗構件的方法，其包括步驟：

將凸面形狀的立體掩模連接到平面形狀合成石英玻璃構件的一個表面上，

將與掩模一起的合成石英玻璃的所述一個表面噴砂，以將掩模的凸面形狀轉印到該合成石英玻璃，和

將經噴砂的表面蝕刻成粗糙表面。

9.制備光學裝置封裝體的方法，所述光學裝置封裝體包括根據(jù)權利要求1-3中任一項所述的窗構件，所述方法包括步驟：

將凸面形狀的立體掩模連接到平面形狀合成石英玻璃構件的一個表面上，

將與掩模一起的合成石英玻璃的所述一個表面噴砂，以將掩模的凸面形狀轉印到該合成石英玻璃，

將經噴砂的表面蝕刻成粗糙表面，以產生該窗構件，

將光學裝置安裝在容納座內，和

將該窗構件與該容納座一體化。

10.根據(jù)權利要求9所述的制備光學裝置封裝體的方法，其中該光學裝置是發(fā)光裝置。

11.根據(jù)權利要求10所述的制備光學裝置封裝體的方法，其中該光學裝置發(fā)射波長300nm以下的光。