[發明專利]一種綠色固定磨料拋光片及其制備方法

在審

• 申請號: 201710615468.5
• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN107350978A
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 林隆華;高綺
• 申請（專利權）人: 天津市職業大學
• 主分類號: B24D3/00
• 分類號: B24D3/00;B24D18/00
• 代理公司: 天津盛理知識產權代理有限公司12209
• 代理人: 劉玲

技術領域

本發明屬于精密加工領域，涉及固定磨料拋光片，特別涉及一種綠色固定磨料拋光片及其制備方法。

背景技術

目前，各種微電子基板材料(如Si、SiC、玻璃等材料的基板)，固定磨料絕緣膜及微電子元器件的超精密加工需要進行拋光處理以便保證使用其精度，且處理普遍采用游離磨料拋光液。但是，游離磨料拋光液在使用后產生廢液，廢液會造成環境污染問題，需要進行后期處理，而且拋光液適用于大面積電器元件的拋光處理。

對于處理面較小的微電子元器件，比如光纖連接頭的拋光處理，使用拋光液不僅存在污染問題，且拋光液容易浪費，拋光效果不佳。

固定磨料拋光片是最容易實現小面積超精密拋光加工的工具，現有的固定磨料拋光片主要由拋光片基層及固定于基層上的固定磨料組成，固定磨料在基層上的涂覆均勻度直接影響拋光片的拋光效果，因此需要添加粘結劑來改善固定磨料的涂覆均勻度，處于安全環保的角度，粘結劑的選擇也需要綠色環保，制備一種綠色固定磨料拋光片非常有必要。

通過對公開專利文獻的檢索，并未發現與本專利申請相同或相似的公開專利文獻。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足，提供一種采用納米級固定磨料及綠色粘結劑的固定磨料拋光片，聚酮樹脂能夠降低淀粉的水溶性，增強其粘性；淀粉能夠緩解聚酮樹脂在水中的硬化，二者相互作用能夠增強固定磨料的粘結性能，保證其在基層上的涂覆均勻度，保證表面加工質量，提高工作效率，且綠色環保無污染。

本發明的目的還在于提供一種工藝參數可控，操作便捷能夠保證拋光效果的綠色固定磨料拋光片制備方法。

本發明解決其技術問題是通過以下技術方案實現的：

一種綠色固定磨料拋光片，其特征在于：由基層及涂覆層組成，所述基層為PET 膜，

所述涂覆層的組份及其重量百分比為：

固定磨料20～50wt％

淀粉25～40wt％

聚酮樹脂25～40wt％。

而且，所述PET膜的厚度為60～80um。

而且，所述涂覆層的厚度為60～200um。

而且，所述固定磨料為氧化硅、氧化鋁、氧化鈰或多晶金剛石。

而且，所述固定磨料的粒徑為0.1nm～100um。

而且，所述淀粉為GB/T20887-2009谷類淀粉中的玉米淀粉或糯米淀粉。

一種綠色固定磨料拋光片的制備方法，其特征在于：所述制備方法的步驟為：

(1)稱重：根據所述重量百分比稱量固定磨料、淀粉、聚酮樹脂；

(2)涂覆液制備：將稱量好的聚酮樹脂、固定磨料及淀粉加入盛有無水乙醇的試管中，然后利用超聲波振蕩器進行均勻混合，使得聚酮樹脂、固定磨料及淀粉均勻分散在無水乙醇中，制得涂覆液；

(3)涂覆層涂覆：在玻璃平板上平鋪所述的PET膜，使用涂覆棒將制備好的涂覆液多次均勻涂覆在PET膜上，形成厚度為60～200um的涂覆層；

(4)固化：在室溫環境下待其固化后，形成拋光片。

本發明的優點和有益效果為：

1、本發明的固定磨料拋光片，由基層及涂覆層組成，涂覆層中使用聚酮樹脂和淀粉作為固定磨料的粘結劑，淀粉易溶于水，單純使用有困難，而聚酮樹脂遇水易硬化，也不能直接使用，因此使用聚酮樹脂能夠降低淀粉的水溶性，增強其粘性；淀粉能夠緩解聚酮樹脂在水中的硬化，二者相互作用能夠提高固定磨料的初粘性和持粘性，使其在基層PET膜上涂覆均勻，保證拋光效果，且涂覆層材料環保無污染。

2、本發明的固定磨料拋光片，固定磨料的粒徑為0.1nm～100um，可以使納米粒子不易陷入粘彈性材料的拋光片基層中，保證良好的表面光潔度的同時，充分發揮加工作用。

3、本發明的固定磨料拋光片，淀粉和聚酮樹脂均作為綠色無污染的粘結劑，共同作用能夠增強固定磨料的粘結性能和機械性，保證其在基層上的涂覆均勻度，保證表面加工質量，提高工作效率，且工藝參數可控，環保無污染，操作便捷能夠保證拋光效果。

附圖說明

圖1(a)為涂覆層涂覆次數為一次的拋光片；

圖1(b)為涂覆層涂覆次數為多次的拋光片；

圖2(a)為未進行拋光處理的光纖連接頭表面；

圖2(b)為拋光處理后的光纖連接頭表面；

圖3(a)為固定磨料重量百分比為20wt％的拋光片；

圖3(b)為固定磨料重量百分比為40wt％的拋光片。

具體實施方式