[發明專利]有機電致發光器件及其制造方法

有效

• 申請號: 201710605512.4
• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN107591490B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 張駿;戴超
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓平板顯示科技有限公司;南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司;南京華東電子信息科技股份有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種有機電致發光器件(100)，包括：

基板(1)；

形成在所述基板(1)上方的第一金屬層(2)；

形成在所述第一金屬層(2)上方的無機層，所述無機層包括至少三層無機層，所述至少三層無機層包括第一無機層(3)、第二無機層(5)、以及第三無機層(7)；

形成在第一無機層(3)和第二無機層(5)之間的半導體層(4)；

形成在第二無機層(5)和第三無機層(7)之間的第二金屬層(6)；

其中，所述第三無機層(7)上形成有通孔(13)，所述通孔(13)呈臺階狀，所述通孔(13)包括第一孔(13a)、臺階(14)以及第二孔(13b)，所述第二孔(13b)的最小直徑大于所述第一孔(13a)的最大直徑；

所述有機電致發光器件(100)還包括孔(131)，孔(131)通過無機層(72)呈臺階狀，無機層(72)是第三無機層(7)的一部分且無機層(72)覆于所述第二金屬層(6)上方。

2.根據權利要求1所述的有機電致發光器件，其特征在于，無機層(72)的厚度與臺階(14)的厚度相同。

3.根據權利要求1所述的有機電致發光器件，其特征在于，還包括緩沖層，所述緩沖層位于所述基板(1)和所述第一金屬層(2)之間。

4.一種有機電致發光器件(100)的制造方法，該方法包括：

S01：在基板(1)上形成第一金屬層(2)；

S02：在所述第一金屬層(2)上形成第一無機層(3)、半導體層(4)和第二無機層(5)；

S03：在所述第二無機層(5)上形成第二金屬層(6)；

S04：在所述第二金屬層(6)上形成第三無機層(7)和第一有機層(8)；

其中，所述第三無機層(7)上形成有通孔(13)，所述通孔(13)呈臺階狀，包括第一孔(13a)、臺階(14)以及第二孔(13b)，所述第二孔(13b)的最小直徑大于所述第一孔(13a)的最大直徑；

所述S04具體為：

S041：在所述第二金屬層(6)上成膜第三無機層(7)，對所述第三無機層(7)進行第一次刻蝕，刻蝕所述第三無機層(7)的一部分，留有一定厚度的無機層(71)，無機層(71)的厚度小于所述第三無機層(7)的膜厚；

S042：在所述第三無機層(7)上成膜第一有機層(8)，形成第一有機層圖案；

S043：使用所述第一有機層圖案作為光阻對所述第三無機層(7)進行第二次刻蝕，移除無機層(71)，形成具有臺階(14)的通孔(13)。

5.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述臺階(14)的厚度為所述第三無機層(7)的膜厚與無機層(71)的厚度的差值。

6.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述S01還包括：

S011：在所述基板(1)上成膜緩沖層；

S012：在所述緩沖層上成膜第一金屬層(2)。

7.根據權利要求4或6所述的制造方法，其特征在于，所述S02具體為：

S021：在所述第一金屬層(2)上依次成膜第一無機層(3)和半導體層(4)，形成半導體層圖案；

S022：在所述半導體層(4)上成膜第二無機層(5)，依次形成第二無機層圖案和第一無機層圖案；或者，先形成第一無機層圖案，再在所述半導體層(4)上成膜第二無機層(5)，形成第二無機層圖案。

8.根據權利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述第三無機層(7)上還形成有孔(131)，孔(131)形成于所述第二次刻蝕，且還形成有無機層(72)，無機層(72)是第三無機層(7)的一部分，無機層(72)覆于所述第二金屬層(6)上方且厚度與臺階(14)的厚度相同。