[發明專利]一種接力式快速取片、裝片裝置及其采用它的裝片機

有效

• 申請號: 201710604150.7
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN107248501B
• 公開（公告）日: 2023-09-08
• 發明（設計）人: 王敕;戴泳雄
• 申請（專利權）人: 蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 黃珩

1.一種接力式快速取片、裝片裝置，包括晶圓臺，所述晶圓臺用于放置晶圓,其特征在于，包括:

第一轉臂，所述第一轉臂用于取出所述晶圓上的芯片，旋轉后將所述芯片放置在下述中轉臺上；

中轉臺，用于芯片的中轉與位置校正；

第二轉臂，所述第二轉臂用于取出所述中轉臺上的芯片，旋轉后將芯片放置在基板上；

焊頭，用于取出芯片和放置芯片，所述焊頭設置在所述第一轉臂和第二轉臂的一端，所述焊頭沿平行于所述第一轉臂或所述第二轉臂的旋轉軸線方向來回運動；

驅動裝置，所述驅動裝置用于驅動第一轉臂和/或第二轉臂旋轉；

所述驅動裝置包括第三驅動裝置、擺臂和連接臂，所述第三驅動裝置用于驅動所述擺臂做圓周轉動，所述連接臂的一端與所述第一轉臂連接，所述連接臂的另一端與所述第二轉臂連接，所述擺臂的一端與所述第三驅動裝置連接，所述擺臂的另一端與所述連接臂連接。

2.根據權利要求1所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，所述第一轉臂旋轉90度，所述第二轉臂旋轉90度。

3.根據權利要求1所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，所述第一轉臂旋轉180度，所述第二轉臂旋轉180度。

4.根據權利要求1或2或3所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括第一驅動裝置、第二驅動裝置和視覺定位裝置，所述第一驅動裝置用于驅動所述第一轉臂旋轉，所述第二驅動裝置用于驅動所述第二轉臂旋轉，所述視覺定位裝置設置于取片點、裝片點和中轉點的正上方或者正下方。

5.根據權利要求4所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，還包括晶圓臺驅動裝置，所述晶圓臺驅動裝置用于驅動所述晶圓臺沿X、Y方向運動并驅動所述晶圓臺圓周轉動。

6.根據權利要求5所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，中轉臺連接有中轉臺驅動裝置，所述中轉臺驅動裝置用于驅動所述中轉臺沿X、Y方向運動并驅動所述中轉臺圓周轉動。

7.根據權利要求6所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，所述中轉臺驅動裝置通過電機或者轉角氣缸驅動。

8.根據權利要求7所述的一種接力式快速取片、裝片裝置，其特征在于，所述焊頭為一伸縮式結構，焊頭包括第一連接桿、套筒、第二連接桿和壓簧，第一連接桿與套筒滑動連接，第二連接桿穿設于套筒內且與套筒固定連接，壓簧一端與第一連接桿連接，壓簧的另一端與第二連接桿的一端連接，第一連接桿的周向設有凹槽，套筒內壁設有導向凸起，凹槽與導向凸起配合，氣管插入第一連接桿和第二連接桿中并與吸嘴連接,氣管連接有真空發生器。

9.裝片機，包括基板上料裝置、點膠裝置，其特征在于，還包括如權利要求書1-8任一所述的一種接力式快速取片、裝片裝置。