[發明專利]一種石墨加熱器及硅晶體生長爐

在審

• 申請號: 201710601867.6
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN109280968A
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 孫鵬;陳駿;張濤;劉瑞鴻
• 申請（專利權）人: 鎮江仁德新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B30/04
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;郭迎俠

1.一種石墨加熱器，用于硅晶體生長爐中，其特征在于，所述石墨加熱器包括非閉合的環狀的加熱體，其兩端分別形成所述加熱體的第一端和第二端，所述加熱體上設有至少兩個電極腳；

所述石墨加熱器通過所述電極腳與電源連接，以使所述石墨加熱器發熱并產生磁場。

2.根據權利要求1所述的石墨加熱器，其特征在于，所述石墨加熱器包括至少一個所述加熱體，當加熱體為兩個或以上時，相鄰兩個所述加熱體的間距大于10mm。

3.根據權利要求2所述的石墨加熱器，其特征在于，所述加熱體由加熱條圍成，且所述加熱條的截面為圓形，所述截面的直徑大于5mm。

4.根據權利要求2所述的石墨加熱器，其特征在于，所述加熱體為非閉合的圓環，所述圓環的外徑與內徑差值為1mm-100mm。

5.根據權利要求2所述的石墨加熱器，其特征在于，相鄰兩個所述加熱體之間設有支撐件，以對多個所述加熱體進行連接，且所述支撐件由絕緣材料制成。

6.根據權利要求1所述的石墨加熱器，其特征在于，所述加熱體的第一端設有一個電極腳，其第二端設有另一個電極腳，所述電源為直流電。

7.根據權利要求1所述的石墨加熱器，其特征在于，所述加熱體上均勻布設有六個電極腳，所述加熱體采用星式接法或角式接法與電源連接，所述電源為三項交流電。

8.一種硅晶體生長爐，包括爐體外殼、設置在所述爐體外殼內的保溫層和生長坩堝，所述生長坩堝設置在所述保溫層內，其特征在于，硅晶體生長爐還包括如權利要求1至7中任意一項所述的石墨加熱器，所述石墨加熱器位于所述保溫層與所述生長坩堝之間。

9.根據權利要求8所述的硅晶體生長爐，其特征在于，所述硅晶體生長爐還包括控制機構，所述加熱體與所述控制機構連接，且能夠在所述控制結構的作用下隨著硅晶體的從下向上的生長方向而從下向上運動，以使硅晶體和硅溶液形成的固液界面始終位于所述加熱體內，或者位于所述加熱體形成的磁場范圍內。