[發明專利]陣列基板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201710601282.4
• 申請日: 2017-07-21
• 公開（公告）號: CN109283758B
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 張國林;程久陽;鄒佳洪;肖文豪;李俊良;馬一鴻
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;H01L27/12
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 焦玉恒

本公開提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。該陣列基板包括：襯底基板；沿第一方向延伸的第一信號線，設置在襯底基板上；沿第二方向延伸的第二信號線，設置在第一信號線遠離襯底基板的一側且與第一信號線彼此絕緣，第一方向與第二方向彼此交叉，其中，第一信號線面向第二信號線的一側設置有凹槽，凹槽位于第一信號線與第二信號線之間的交匯處，在交匯處，第二信號線在襯底基板上的正投影完全落入凹槽在襯底基板的正投影內。該陣列基板通過減薄第一信號線在其與第二信號線交匯處的厚度以增加第一信號線與第二信號線交匯處的絕緣層的厚度，從而有效降低了第一信號線與第二信號線之間發生短路的風險。

技術領域

本公開至少一個實施例涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術

目前，平板顯示器市場中的占據主導市場地位的薄膜晶體管液晶顯示器是一種需要依靠背光來顯示的顯示器。其主要結構包括陣列基板、液晶以及彩膜基板，其中的陣列基板可以起到決定薄膜晶體管液晶顯示器的分辨率，視角等的決定作用。

發明內容

本公開的至少一實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。該陣列基板通過減薄第一信號線在其與第二信號線交匯處的厚度，以在不增加陣列基板厚度的基礎上，增加第一信號線與第二信號線交匯處的絕緣層的厚度，既有效降低了第一信號線與第二信號線之間發生短路的風險，提高了產品的良率，降低了成本，又不影響陣列基板的性能。

本公開的至少一實施例提供一種陣列基板，包括：襯底基板；沿第一方向延伸的第一信號線，設置在襯底基板上；沿第二方向延伸的第二信號線，設置在第一信號線遠離襯底基板的一側且與第一信號線彼此絕緣，第一方向與第二方向彼此交叉，其中，第一信號線面向第二信號線的一側設置有凹槽，凹槽位于第一信號線與第二信號線之間的交匯處，在交匯處，第二信號線在襯底基板上的正投影完全落入凹槽在襯底基板的正投影內。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板中，第一信號線還包括位于凹槽兩側的第一部分與第二部分，第一部分包括與凹槽連接的第一連接部，第二部分包括與凹槽連接的第二連接部，沿第二方向，凹槽的最大尺寸大于第一連接部和/或第二連接部的尺寸。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板中，還包括：第一絕緣層，設置在第一信號線與第二信號線之間。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板中，還包括：第二絕緣層，設置在第一信號線與第二信號線之間，其中，第二絕緣層在襯底基板上的正投影與凹槽在襯底基板上的正投影完全重合，沿垂直于襯底基板的方向，第二絕緣層的厚度與凹槽的深度相同以補償第一信號線或第一絕緣層遠離襯底基板的表面由于凹槽產生的相對于襯底基板的高度差。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板中，第二絕緣層位于第一絕緣層與第一信號線之間或者第一絕緣層與第二信號線之間。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板中，沿垂直于襯底基板的方向，凹槽的深度與第一信號線不包括凹槽的部分的厚度之比不超過1:2。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板中，第一信號線和第二信號線之一為掃描線，另一條為數據線。

本公開的至少一實施例提供一種陣列基板的制作方法，包括：在襯底基板上形成沿第一方向延伸的第一信號線；在第一信號線遠離襯底基板的一側形成凹槽；在第一信號線上形成沿第二方向延伸的第二信號線，第二信號線與第一信號線彼此絕緣，第一方向與第二方向彼此交叉，其中，凹槽位于第一信號線與第二信號線之間的交匯處，在交匯處，第二信號線在襯底基板上的正投影完全落入凹槽在襯底基板的正投影內。

例如，在本公開一實施例提供的陣列基板的制作方法中，形成凹槽包括：在第一信號線上形成第一絕緣層；對位于交匯處的第一絕緣層進行刻蝕形成過孔以暴露出第一信號線；對暴露出的第一信號線進行刻蝕以形成凹槽。