[發明專利]一種高精度自動糾偏裝置

有效

• 申請號: 201710587249.0
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN107240572B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 劉照安;朱太榮;謝越森;林佳繼;伊凡·裴力林
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯新能源科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/68;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 彭西洋

1.一種高精度自動糾偏裝置，其特征在于，包括翻轉模組、吸盤模組、角度調整模組、X軸調整模組、Y軸調整模組；所述角度調整模組驅動吸盤模組轉動以調整其吸盤的角度；所述Y軸調整模組驅動吸盤模組進行Y方向的位置調整；所述翻轉模組用于將吸盤模組、角度調整模組、Y軸調整模組同時翻轉換向；所述X軸調整模組設置于吸盤模組下方，且與翻轉模組可拆卸式連接；所述X軸調整模組用于承接翻轉換向后的所述吸盤模組上的角度及Y方向位置調整好后的硅片，并對該硅片進行X方向的位置調整；

所述吸盤模組包括第一吸盤、第二吸盤、吸盤主軸、第三安裝板；所述第三安裝板的一端設置圓形通孔；所述吸盤主軸穿過第三安裝板的圓形通孔，且兩端分別設置第一吸盤、第二吸盤；

所述X軸調整模組包括X軸絲桿、X軸絲母、貼片吸盤、升降氣缸、X軸電機；所述升降氣缸用于驅動貼片吸盤上升及下降，X軸電機用于驅動X軸絲母帶動貼片吸盤沿X軸絲桿進行X方向的移栽與調整。

2.根據權利要求1所述的高精度自動糾偏裝置，其特征在于，所述翻轉模組包括翻轉電機、第一皮帶輪、第二皮帶輪、第一皮帶、翻轉軸、第一安裝板、第二安裝板；所述第一安裝板橫截面為L型，且其橫端與第二安裝板的一端可拆卸式連接；所述第一安裝板的豎端、第二安裝板的另一端均設置通孔；所述第一皮帶輪設置于第一安裝板豎端通孔的第二安裝板一側，翻轉電機設置于該通孔的另一側，且翻轉電機的輸出軸穿過該通孔與第一皮帶輪連接；所述第二皮帶輪設置于第二安裝板通孔的第一皮帶輪一側，翻轉軸設置于該通孔的另一側，且翻轉軸的一端穿過該通孔與第二皮帶輪連接；所述第一皮帶輪與第二皮帶輪經第一皮帶傳動。

3.根據權利要求2所述的高精度自動糾偏裝置，其特征在于，所述第三安裝板的另一端設置帶開口的矩形通孔；所述翻轉軸的另一端與第三安裝板的矩形通孔一端可拆卸式連接。

4.根據權利要求3所述的高精度自動糾偏裝置，其特征在于，所述角度調整模組包括角度調整電機、第三皮帶輪、第四皮帶輪、第二皮帶；所述角度調整電機與第三皮帶輪垂直設置，且其輸出軸與第三皮帶輪連接；所述第四皮帶輪嵌套在吸盤主軸外側；所述第三皮帶輪與第四皮帶輪經第二皮帶傳動。

5.根據權利要求2所述的高精度自動糾偏裝置，其特征在于，所述X軸調整模組還包括第四安裝板、第五安裝板、第一滑塊；所述X軸電機設置在第四安裝板的一端，其輸出軸與X軸絲桿一端連接；所述第四安裝板的另一端兩側分別與X軸絲母、第二安裝板可拆卸式連接；所述第五安裝板一側經X軸絲母與X軸絲桿活動連接，另一側設置豎直導軌；所述第一滑塊與貼片吸盤垂直設置；所述升降氣缸驅動第一滑塊沿豎直導軌做上下直線運動。

6.根據權利要求4所述的高精度自動糾偏裝置，其特征在于，所述Y軸調整模組包括Y軸絲桿、Y軸電機、聯軸器、四交叉滾子導軌、第二滑塊；所述第二滑塊包括第一矩形塊、第二矩形塊、Y軸絲母，且三者一體成型；所述第一矩形塊寬度大于第二矩形塊寬度，且兩矩形塊均設置通孔；所述第一矩形塊的一側設置第二矩形塊，相鄰的一側設置Y軸絲母；所述第二滑塊平行設置在第三安裝板的上方；所述第二矩形塊的通孔嵌套在角度調整電機的主體與其輸出軸的連接處；所述第一矩形塊的通孔嵌套在吸盤主軸外側，且置于第四皮帶輪的下方；所述聯軸器一端與Y軸電機的輸出軸連接，另一端與Y軸絲桿連接；所述四交叉滾子導軌分別兩兩設置于第三安裝板的頂部圓形通孔兩側；所述Y軸電機靠近翻轉軸的一側與對應的翻轉軸一側可拆卸式連接。

7.根據權利要求6所述的高精度自動糾偏裝置，其特征在于，所述第三安裝板的圓形通孔的直徑大于吸盤主軸的直徑，以使吸盤主軸在Y軸調整模組的驅動下能在第三安裝板的圓形通孔內移動。