[發明專利]脈沖等離子電源電路

在審

• 申請號: 201710587080.9
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN107294420A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 舒貝利;施小東;奚永新
• 申請（專利權）人: 浙江大維高新技術股份有限公司
• 主分類號: H02M9/06
• 分類號: H02M9/06;H02M5/458
• 代理公司: 杭州知通專利代理事務所(普通合伙)33221
• 代理人: 姚宇吉

1.一種脈沖等離子電源電路，其特征在于，包括高頻基波電路、交流脈沖功率發生電路和高壓耦合疊加裝置，所述高頻基波電路和所述交流脈沖功率發生電路分別連接高壓耦合疊加裝置；

所述高頻基波電路：主回路配電給所述高頻基波電路，主回路配電經過整流濾波后產生第一直流電壓，所述第一直流電壓經過逆變生成第一交流電壓，所述第一交流電壓再經高壓整流后產生電壓可調的正極性直流電壓；

所述交流脈沖功率發生電路：主回路配電給所述交流脈沖功率發生電路，主回路配電經過整流濾波后產生第二直流電壓，所述第二直流電壓經過逆變生成第二交流電壓，所述第二交流電壓再經脈沖變壓器轉換產生高頻高壓交流脈沖；

所述高壓耦合疊加裝置將所述電壓可調的正極性直流電壓和所述高頻交流脈沖同時輸送給負載并且所述交流脈沖功率發生電路和所述高壓耦合疊加裝置組成LC諧振回路，所述電壓可調的正極性直流電壓的大小是高頻基波的頻率來控制，并能根據實際負載的大小來調整交流脈沖的頻率。

2.根據權利要求1所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，所述高頻基波電路包括第一整流電路、第一逆變電路和高壓整流電路,所述第一整流電路、第一逆變電路和高壓整流電路依次串接；

主回路配電給所述第一整流電路，所述第一整流電路對主回路配電進行整流濾波并產生第一直流電壓；

所述第一逆變電路將所述第一直流電壓進行逆變轉換產生第一交流電壓；

所述高壓整流電路將所述交流電壓進行高壓整流，產生0～80KV可調的正極性直流電壓。

3.根據權利要求1所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，交流脈沖功率發生電路包括第二整流電路、第二逆變電路和脈沖變壓器，所述第二整流電路、第二逆變電路和脈沖變壓器依次串聯；

主回路配電給所述第二整流電路，所述第二整流電路對主回路配電進行整流濾波并產生第二直流電壓；

所述第二逆變電路將所述第二直流電壓進行逆變轉換產生第二交流電壓；

所述脈沖變壓器的初級線圈電連接所述第二逆變電路的輸出端，次級線圈連接所述高壓耦合疊加裝置，所述脈沖變壓器給第二交流電壓變壓，產生頻率為20KHZ～50KHZ、電壓上升率大于1KV/us的高頻交流脈沖。

4.根據權利要求1所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，高壓耦合疊加裝置包括隔直電容與空心電感，所述隔直電容串聯空心電感；

所述高頻基波電路串聯所述空心電感，所述空心電感能隔離高頻交流脈沖對所述高頻基波電路的影響；

所述交流脈沖功率發生電路串聯所述隔直電容，所述交流脈沖功率發生電路和所述隔直電容組成LC諧振回路，回收交流脈沖后半周期的能量。

5.根據權利要求2所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，所述第一整流電路為三相橋式整流電路。

6.根據權利要求2所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，所述第一逆變電路為橋式逆變電路。

7.根據權利要求2所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，所述高頻整流電路包括高頻變壓器和高壓整流管，所述高頻變壓器的初級線圈電性連接所述第一逆變電路的輸出端，所述高頻變壓器的次級線圈串聯所述高壓整流管并電性連接所述高壓疊加耦合裝置；

所述第一逆變電路將產生的第一交流電壓輸入到所述高頻變壓器的初級線圈中，此時次級線圈感應出交流高壓，感應出的交流高壓經過高壓整流器整流，形成0～80KV可調的正極性直流電壓。

8.根據權利要求3所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，所述第二整流電路為三相橋式整流電路。

9.根據權利要求3所述的脈沖等離子電源電路，其特征在于，所述第二逆變電路為橋式逆變電路。