[發明專利]一種柔性IC基板氧化面積檢測系統及方法

有效

• 申請號: 201710576552.0
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN107369176B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 胡躍明;鐘智彥;羅家祥
• 申請（專利權）人: 華南理工大學
• 主分類號: G06T7/62
• 分類號: G06T7/62;G06T7/11;G06T5/50;G06T3/40;G01N21/956;G01N21/88
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 何淑珍

1.一種超薄柔性IC基板氧化面積檢測系統，其特征在于，包括：

金相顯微成像采集系統，包括攝像機，通過攝像機采集柔性IC基板各部分的高分辨率數字圖像；

圖像融合系統，用于將拍攝完成后的所有圖像拼接成完整的柔性IC基板圖像；

氧化面積快速檢測系統，用于對所拼接的柔性IC基板高分辨率圖像進行RGB-HSI彩色空間轉換及拓撲映射處理確定氧化面積區域；

所述拓撲映射處理包括：

步驟(3.1) 對所拼接的柔性IC基板高分辨率圖像進行平滑預處理；

步驟(3.2) 對平滑預處理后的IC基板高分辨率RGB彩色空間圖像轉換為HSI彩色空間圖像；

步驟(3.3) 對轉換后得到的圖像進行點集值拓撲映射，確定前景像素集合和后景像素集合，即可區分被氧化的圖像部分；具體包括：

步驟(3.3.1) 坐標規定，規定向右為X軸正方向，向下為Y軸正方向；

步驟(3.3.2) 獲取亮度I分量彩色空間圖像；

步驟(3.3.3) 點集值與像素值對應，由于數字圖像是由一些離散的點組成，所以將圖像離散數字化，對應于坐標的位置作為點集合，坐標中點的值為點集值，在圖像中稱為像素值；將點集值與像素值進行一一對應，統計相同的點集值即像素值；

步驟(3.3.4) 選定三個閾值k、k₁、k₂，其中0kk₁k₂255， k、k₁、k₂三個值的選取通過相似性度量來確定，采用類間方差最大化方法，選取原則是類內距離盡可能的小，類間距離盡可能的大，最終獲得最佳全局閾值；

步驟(3.3.5) 劃定圖像像素值區域，確定閾值k、k₁、k₂后即可對圖像灰度級進行劃分，三個閾值在0-255之間劃分為四個灰度級集合：C₁集合、C₂集合、C₃集合、C₄集合，所述 C₁集合的像素值灰度級為[0,1,2,…,k]，所述C₂集合的像素值灰度級為[k+1,k+2,…,k₁]，所述C₃集合的像素值灰度級為[k₁+1,k₁+2,…,k₂]，所述C₄集合的像素值灰度級為[k₂+1,k₂+2,…,255]；

步驟(3.3.6) 劃定前景與后景，在圖像中黑色到白色之間按對數關系分成若干級，黑色為0，白色為255，故黑色背景對應于C₁集合，覆銅板為黃色位于黑色到白色的漸變過渡區，所以黃銅對應C₃集合，故將C₁集合和C₃集合作為后景；由于覆銅板被氧化的程度在顏色上會有深淺變化，即隨著時間的推移，其氧化程度在加深，顏色也呈一個漸變過程，故將C₂集合和C₄集合作為前景

步驟(3.4) 計算圖像中被氧化的面積。