[發明專利]一種化學機械拋光液有效
| 申請號： | 201710569909.2 | 申請日： | 2017-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN109251674B | 公開（公告）日： | 2021-12-17 |
| 發明（設計）人： | 李守田;尹先升;賈長征;王雨春 | 申請（專利權）人： | 安集微電子科技（上海）股份有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 北京大成律師事務所 11352 | 代理人： | 李佳銘;沈汶波 |
| 地址： | 201201 上海市浦東新區華東路*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 化學 機械拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種化學機械拋光液，由氧化鈰磨料、聚季銨鹽、水及pH調節劑組成；
所述的聚季銨鹽選自聚季銨鹽-37；
所述的聚季銨鹽-37濃度為250ppm～1000ppm；
所述氧化鈰磨料濃度為0.1-1.0wt％；
所述化學機械拋光液的pH值為3.5-5.5。
2.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述pH調節劑為氫氧化鉀(KOH)和/或硝酸(HNO3)。
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