[發明專利]一種化學機械拋光液

有效

• 申請號: 201710569718.6
• 申請日: 2017-07-13
• 公開（公告）號: CN109251671B
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 李守田;尹先升;賈長征;王雨春
• 申請（專利權）人: 安集微電子科技（上海）股份有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 北京大成律師事務所 11352
• 代理人: 李佳銘;沈汶波

1.一種化學機械拋光液，其特征在于，包括溶膠型氧化鈰、含羥基的非離子型表面活性劑、pH調節劑；

所述溶膠型氧化鈰含量為0.1-1.0wt％；

所述化學機械拋光液的pH值為4.0-5.0；

所述含羥基的非離子型表面活性劑為Tween-80(失水山梨醇單油酸酯聚氧乙烯醚)、Triton X-100(聚乙二醇辛基苯基醚)、Brij-35(聚氧乙烯月桂醚)、Triton X-114(聚氧乙烯單叔辛基苯基醚)、F68(普蘭尼克)、O-20(平平加O-20)、O-30(平平加O-30)、O-50(平平加O-50)。

2.如權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述pH調節劑選自氫氧化鉀或硝酸。

3.如權利要求1-2任一所述的化學機械拋光液，其特征在于，所述拋光液中還包括氮化硅抑制劑和蝶形凹陷抑制劑。