[發明專利]一種動態調節脈沖能量與時間間隔的激光加工方法及裝置

有效

• 申請號: 201710546389.3
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN107234336B
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 于艷玲;魏鑫磊
• 申請（專利權）人: 溫州職業技術學院
• 主分類號: B23K26/062
• 分類號: B23K26/062;B23K26/0622
• 代理公司: 北京中北知識產權代理有限公司 11253
• 代理人: 段秋玲

1.一種動態調節脈沖能量與時間間隔的激光加工裝置，其特征在于，包括激光器、擴束準直鏡(M1)、電動衰減片轉輪(Z1)、電動相位延遲片轉輪(Z2)、一個或多個反射鏡(M2)和聚焦物鏡(M3)；

所述電動衰減片轉輪(Z1)的結構與電動相位延遲片轉輪(Z2)的結構相同，兩者均帶有循環水冷機構和氣簾風冷機構，同時還均與一電動旋轉機構相連，所述電動旋轉機構編程可控，用于分別驅動電動衰減片轉輪(Z1)以及電動相位延遲片轉輪(Z2)繞其中心軸線旋轉；

所述電動衰減片轉輪(Z1)和電動相位延遲片轉輪(Z2)兩者均呈圓盤形，圓盤的邊沿內側沿圓周方向均勻設置有多個尺寸相同的圓形安裝孔(11)，多個圓形安裝孔(11)的圓心位于同一圓周上；多個圓形安裝孔(11)的中心軸線與電動衰減片轉輪(Z1)以及電動相位延遲片轉輪(Z2)的中心軸線平行；

所述電動衰減片轉輪(Z1)的多個圓形安裝孔(11)上分別安裝有多個激光衰減片，多個激光衰減片的安裝方位使得所述多個激光衰減片的中心軸線，以及電動衰減片轉輪(Z1)的中心軸線均相互平行；所述多個激光衰減片的衰減值互不相同；

所述多個激光衰減片在多個圓形安裝孔(11)的安裝順序是：將多個激光衰減片按衰減值大小排序，即以順時針方向按照衰減值從大到小或從小到大的次序依次安裝在多個圓形安裝孔(11)上；

所述電動相位延遲片轉輪(Z2)的多個圓形安裝孔(11)上分別安裝有多個相位延遲片，多個相位延遲片的安裝方位使得所述多個相位延遲片的中心軸線，以及電動相位延遲片轉輪(Z2)的中心軸線均相互平行；所述多個相位延遲片的相位延遲值互不相同；

所述多個相位延遲片在多個圓形安裝孔(11)的安裝順序是：將多個相位延遲片按相位延遲值大小排序，即以順時針方向按照相位延遲值從大到小或從小到大的次序依次安裝在多個圓形安裝孔(11)上；

激光器發出的加工激光束入射至擴束準直鏡(M1)，經擴束準直鏡(M1)的擴束準直后，垂直入射至電動衰減片轉輪(Z1)上的一個衰減片，經衰減片的衰減后，垂直入射至電動相位延遲片轉輪(Z2)上的一個相位延遲片，經相位延遲片的延遲后，經反射鏡(M2)反射后進入聚焦物鏡(M3)，由聚焦物鏡(M3)輸出后聚焦在工件表面。