[發(fā)明專利]一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法及物鏡主動(dòng)阻尼器裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710525481.1
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109212706B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董磊;劉赟;廖飛紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G02B7/02
• 分類號(hào): G02B7/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，包括如下步驟:

步驟1：根據(jù)基板的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)，對(duì)減振單元進(jìn)行布局；

步驟2：采用積分力反饋算法控制所述減振單元進(jìn)行物鏡減振；

步驟1包括：

步驟11：對(duì)基板進(jìn)行模態(tài)分析，確定基板的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)；

步驟12：根據(jù)所述基板的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)和減振單元的數(shù)量，將所述減振單元設(shè)置在所述基板和物鏡之間；

其中，所述減振單元在所述基板上的位置與所述基板的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)對(duì)應(yīng)；

步驟2包括：

步驟21：獲取振動(dòng)力信號(hào)，將振動(dòng)力信號(hào)轉(zhuǎn)換到邏輯軸上；

步驟22：使用積分力反饋算法處理所述邏輯軸上的振動(dòng)力信號(hào)，形成控制信號(hào)；

步驟23：利用所述控制信號(hào)控制減振單元實(shí)施減振動(dòng)作，并輸出振動(dòng)力信號(hào)，重復(fù)步驟21-步驟23。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，所述步驟12中：減振單元通過(guò)聯(lián)接接口設(shè)置在所述基板和物鏡之間，不同所述減振單元與所述基板之間的聯(lián)接接口方向不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，不同減振單元與所述基板之間的聯(lián)接接口方向互相垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，所述步驟21中：采用模態(tài)解耦方法將振動(dòng)力信號(hào)轉(zhuǎn)換到邏輯軸上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，所述步驟22中：通過(guò)在積分力反饋算法中加入可調(diào)節(jié)負(fù)極點(diǎn)，調(diào)節(jié)物鏡主動(dòng)阻尼器的最大阻尼。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，所述步驟22中：通過(guò)在積分力反饋算法中加入正極點(diǎn)，調(diào)節(jié)物鏡主動(dòng)阻尼器的減振效果。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器控制方法，其特征在于，所述積分力反饋算法中加入高通濾波器。

8.一種物鏡主動(dòng)阻尼器裝置，其特征在于，包括減振單元、基板和物鏡，所述減振單元設(shè)置在基板和物鏡之間，且所述減振單元在所述基板上的位置與所述基板的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)對(duì)應(yīng)；且所述減振單元由積分力反饋算法控制進(jìn)行物鏡減振。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器裝置，其特征在于，減振單元通過(guò)聯(lián)接接口設(shè)置在所述基板和物鏡之間，不同所述減振單元與所述基板之間的聯(lián)接接口方向不同。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器裝置，其特征在于，不同減振單元與所述基板之間的聯(lián)接接口方向互相垂直。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器裝置，其特征在于，所述基板為矩形。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的一種物鏡主動(dòng)阻尼器裝置，其特征在于，所述減振單元布置在所述基板四邊的中點(diǎn)上。