[發(fā)明專利]藥液溫度調(diào)節(jié)裝置、利用其的基板處理系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710520501.6
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN107564834B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸庸碩;金珉植;樸鎬胤;樸康淳;趙才衍
• 申請（專利權(quán)）人: 顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京青松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種藥液溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括：

儲液罐，收容處理基板的藥液；

藥液溫度調(diào)節(jié)單元，獨立配置于所述儲液罐的外部，并且調(diào)節(jié)所述藥液的溫度；

藥液循環(huán)管單元，連接所述儲液罐和所述藥液溫度調(diào)節(jié)單元，并引導(dǎo)所述藥液移動；

藥液循環(huán)泵，使藥液循環(huán)，以使收容于所述儲液罐的藥液和收容于所述藥液溫度調(diào)節(jié)單元的藥液混合；

其中，所述藥液溫度調(diào)節(jié)單元包括多個藥液調(diào)節(jié)組件，所述藥液調(diào)節(jié)組件與所述藥液循環(huán)管單元連通；

所述藥液調(diào)節(jié)組件包括：

外殼，與所述藥液循環(huán)管單元連通，并且收容用于溫度調(diào)節(jié)的藥液；

藥液加熱器，配置于所述外殼內(nèi)部空間從而加熱收容于所述外殼內(nèi)部的藥液；及

藥液冷卻部，至少一部分包裹所述藥液加熱器外側(cè)面，同時冷卻收容于所述外殼內(nèi)部的藥液；

所述藥液調(diào)節(jié)組件上下疊層而串聯(lián)連接，從而使藥液通過重力從配置于上部的外殼向配置在下部的外殼流動；

所述藥液溫度調(diào)節(jié)裝置還包括：

藥液溫度測量單元，測量收容于所述儲液罐內(nèi)部的藥液的溫度；

控制部，根據(jù)由所述藥液溫度測量單元測量的藥液的溫度，控制驅(qū)動所述藥液加熱器和所述藥液冷卻部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

所述藥液循環(huán)管單元包括：

第一藥液循環(huán)管，形成收容于所述儲液罐的藥液向所述外殼移動的流路，并且配置有所述藥液循環(huán)泵；及第二藥液循環(huán)管，形成所述外殼的藥液向所述儲液罐移動的流路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，

所述藥液冷卻部包括：

藥液冷卻管，沿著所述藥液加熱器的外側(cè)面配置成線圈狀，并且在其內(nèi)部循環(huán)冷卻水；

冷卻水罐，向所述藥液冷卻管內(nèi)部供應(yīng)冷卻水；及

冷卻水循環(huán)泵，使所述藥液冷卻管內(nèi)部的冷卻水循環(huán)。

4.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

基板處理部，利用藥液處理基板；

權(quán)利要求1至3中任意一項所述的藥液溫度調(diào)節(jié)裝置，從所述基板處理部接收藥液從而調(diào)節(jié)所述藥液溫度；

藥液移動管，一端連接所述藥液溫度調(diào)節(jié)裝置，另一端連接所述基板處理部，并且形成所述藥液移動流路；

藥液移動控制閥，配置在所述藥液溫度調(diào)節(jié)裝置和所述藥液移動管的連接部，并且根據(jù)所述藥液的溫度控制藥液的流動；及

藥液移動泵，配置在所述藥液移動管上部，并且使調(diào)節(jié)至預(yù)定溫度的藥液從所述藥液溫度調(diào)節(jié)裝置移動至所述基板處理部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，

所述基板處理部包括：

基板腔室，在內(nèi)部配置所述基板；

噴射噴嘴，噴射沿著所述藥液移動管移動的藥液；及

藥液儲存部，收容并儲存使用于所述基板腔室的藥液。

6.一種基板處理方法，利用權(quán)利要求4所述的基板處理系統(tǒng)處理基板，其特征在于，包括如下的步驟：

藥液溫度調(diào)節(jié)步驟，通過所述藥液溫度調(diào)節(jié)裝置加熱和冷卻所述藥液，從而調(diào)節(jié)所述藥液的溫度；

閥門開閉步驟，根據(jù)所述藥液的溫度開閉所述藥液移動控制閥；

藥液移動步驟，借助于所述藥液移動泵從所述藥液溫度調(diào)節(jié)單元向所述基板處理部移動調(diào)節(jié)至預(yù)定溫度的藥液；

基板處理步驟，利用沿著所述藥液移動管移動的藥液處理基板；

所述藥液溫度調(diào)節(jié)步驟包括如下的步驟：

藥液循環(huán)步驟，使藥液循環(huán)，以使收容于所述儲液罐內(nèi)部的藥液和收容于外殼的藥液混合；

藥液加熱步驟，加熱收容于所述外殼內(nèi)部的藥液；

藥液溫度測量步驟，測量收容于所述儲液罐內(nèi)部的藥液的溫度；及

藥液冷卻步驟，冷卻收容于所述外殼內(nèi)部的藥液。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板處理方法，其特征在于，

在所述藥液冷卻步驟中，當(dāng)在所述藥液溫度測量步驟中測量的藥液的溫度超出預(yù)定范圍時，驅(qū)動冷卻水循環(huán)泵，從而使冷卻水循環(huán)。