[發明專利]一種氮氧化物氣體傳感器

在審

• 申請號: 201710503874.2
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN107643330A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 陳強
• 申請（專利權）人: 陳強
• 主分類號: G01N27/26
• 分類號: G01N27/26;G01N27/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.本發明提供了一種新型的氮氧傳感器，其特征在于：該傳感器結構包括從上到下依次疊壓的第一層基片、第二層基片、第三層基片、第四層基片、第五層基片；在第一層基片上存在一個電極；在第二層基片上包含了四個腔室：第一腔室為原始氣體腔室，第二腔室和第三腔室為泵氧腔室，第四腔室為測量腔室；在第二腔室的上、下兩側，第三腔室的上、下兩側以及第四腔室的下側分別存在一個電極；其中在第二腔室上側的電極與第一基片上的電極構成了第一泵氧電極，第三腔室上側的電極和第一基片上的電極構成了第二泵氧電極；第二腔室下側的電極為對電極；在第四腔室的中含有一個測量電極；在第一腔室、第二腔室、第三腔室及第四腔室之間，分別通過擴散障層隔開；在第三基片中含有一個參考氣體腔室，其與大氣相連，作為參考氣體通道；在第三基片和第四基片之間存在一個參考電極，作為測量電極的參考電極；在第四基片下側存在一個加熱電極；該傳感器所有基片的材料都是氧化釔穩定氧化鋯陶瓷，所有電極材料都是金屬鉑電極。