[發(fā)明專利]一種彈光型光子晶體波導(dǎo)加速度計

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710502565.3
• 申請日: 2017-06-27
• 公開（公告）號: CN107478861A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佘玄;楊哲;陳侃;劉承;舒曉武
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: G01P15/08
• 分類號: G01P15/08;G01P15/093
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司33200
• 代理人: 林松海

1.一種彈光型光子晶體波導(dǎo)加速度計，其特征在于，包括輸入波導(dǎo)（4）、輸出波導(dǎo)（5）、馬赫曾德干涉結(jié)構(gòu)和微懸梁結(jié)構(gòu)；馬赫曾德干涉結(jié)構(gòu)包括輸入端Y分支波導(dǎo)（6）、輸出端Y分支波導(dǎo)（7）、參考臂光子晶體波導(dǎo)（8）、信號臂光子晶體波導(dǎo)（9），和金屬調(diào)制電極（10），輸入波導(dǎo)（4）連接輸入端Y分支波導(dǎo)（6），輸入端Y分支波導(dǎo)（6）的兩分支端分別連接參考臂光子晶體波導(dǎo)（8）和信號臂光子晶體波導(dǎo)（9），參考臂光子晶體波導(dǎo)（8）和信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）連接輸出端Y分支波導(dǎo)（7）的兩分支端，輸出端Y分支波導(dǎo)（7）連接輸出波導(dǎo)（5）；所述的輸入端Y分支波導(dǎo)（6）的參考臂與信號臂等長，輸出端Y分支波導(dǎo)（7）的參考臂與信號臂等長，所述的參考臂光子晶體波導(dǎo)（8）和信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）等長；馬赫曾德干涉結(jié)構(gòu)位于鈮酸鋰晶體層（3），鈮酸鋰晶體層（3）向下依次為二氧化硅隔層（2）、硅基底（1）；參考臂光子晶體波導(dǎo)（8）和信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）相互平行，波導(dǎo)兩端的兩側(cè)均設(shè)置有金屬調(diào)制電極（10）；信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）中部的兩側(cè)刻蝕有凹形通孔（13），形成微懸梁結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈光型光子晶體波導(dǎo)加速度計，其特征在于，所述的微懸梁結(jié)構(gòu)包括微懸梁（11）和質(zhì)量塊（12），由信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）中部的兩側(cè)刻蝕凹形通孔（13）形成，微懸梁（11）和信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）平行，質(zhì)量塊（12）位于微懸梁（11）的正中部，并凸出垂直于信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈光型光子晶體波導(dǎo)加速度計，其特征在于，所述的參考臂光子晶體波導(dǎo)（8）和信號臂光子晶體波導(dǎo)（9）均為慢光增強光子晶體波導(dǎo)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈光型光子晶體波導(dǎo)加速度計，其特征在于，所述的輸入波導(dǎo)（4）、輸出波導(dǎo)（5）、輸入端Y分支波導(dǎo)（6）、輸出端Y分支波導(dǎo)（7）為脊波導(dǎo)，由鈮酸鋰晶體層（3）表面刻蝕形成。