[發明專利]大功率器件靜電放電電流波形檢測系統及測試方法

在審

• 申請號: 201710499527.7
• 申請日: 2017-06-27
• 公開（公告）號: CN109142902A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 陸宇
• 申請（專利權）人: 上海卓弘微系統科技有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于CDM模型的ESD電流波形檢測系統，其特征在于，包括：

可以調節升降的測試機臺，機臺上半部分為可以調節松緊的用于固定懸掛裝置的支架，所述支架可以固定法蘭盤；所述測試板含有容納螺絲通過的通孔，螺絲通過該通孔以及法蘭盤的通孔將測試板與法蘭盤連為一體；測試板側面含有插頭，用于連接一端含有配套插座的同軸電纜；測試板底部垂直焊接有pogo（ 彈簧單高蹺）探針（即探針垂直于測試板平面），用于接觸帶電器件，獲取所需波形；測試機臺底座上水平放置校準模塊。

2.如權利要求1所述的結構，其特征在于，所述固定懸掛裝置的支架，用于固定的部分為環形，內徑略大于用于連接測試板的圓柱法蘭盤直徑。

3.如權利要求1所述的結構，其特征在于，所述測試板，含有兩個可以通過螺絲的通孔，用于將測試板與法蘭盤結合在一起，固定在測試機臺上，所述通孔距離測試板中心距離相等，所述測試板在與法蘭盤相連的對側焊接有pogo探針。

4.如權利要求1所述的結構，其特征在于，測試板所焊接的pogo探針，其所能工作的頻率范圍至少為1GHz。

5.如權利要求1所述的結構，其特征在于，測試板所焊接的pogo探針，通過1Ω電阻與測試板焊接相連，所用1Ω電阻為環形輻射電阻。

6.如權利要求1所述的結構，其特征在于，測試板所焊接的SMA插頭為標準插頭，可以與同軸電纜相連。

7.如權利要求1所述的結構，其特征在于，所述校準模塊是一種鍍金或鍍鎳的銅制圓盤，此圓盤位于一面有FR-4（一種耐燃材料等級的代號，所代表的意思是樹脂材料經過燃燒狀態必須能夠自行熄滅的一種材料規格，它不是一種材料名稱，而是一種材料等級）材料上，該材料厚度盡可能小，上限為2mm。

8.一種采用權利要求1所述的檢測系統來測試CDM放電波形的方法，其特征在于，包括：

將所述測量系統的各個模塊固定在一個支架中；

根據所需要的充電電壓，用直流電源對校準模塊進行充電；

充電時，電源輸出端通過大電阻（MΩ級別），直流電壓源中的電流為0時為充電完畢，保持直流電壓源為開啟狀態；

調節測試機臺，使得被固定的pogo探針下降，與待測器件引腳接觸，器件上的電流通過探針接觸，經過同軸電纜傳輸，最終顯示的示波器上；

示波器顯示波形后，進行放電，放電過程為關閉直流電壓源，通過調節測試機臺螺旋，使得被固定的pogo探針上升，離開校準模塊表面，與校準模塊不接觸，完成放電，準備下一次測試；

根據所述測試過程，得到在示波器上顯示的電流波形，作為所需波形結果。