[發(fā)明專利]一種基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710494044.8 | 申請日: | 2017-06-26 |
| 公開(公告)號: | CN107342361A | 公開(公告)日: | 2017-11-10 |
| 發(fā)明(設計)人: | 周曄;李宗曉;韓素婷 | 申請(專利權)人: | 深圳大學 |
| 主分類號: | H01L45/00 | 分類號: | H01L45/00;B82Y30/00 |
| 代理公司: | 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙)44268 | 代理人: | 王永文,劉文求 |
| 地址: | 518060 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 鐵酸鉍 納米 顆粒 阻變式 存儲器 及其 制備 方法 | ||
1.一種基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器,其特征在于,包括柔性基底以及從下至上依次設置在所述柔性基底上的底電極、第一聚合物層、鐵酸鉍功能層、第二聚合物層和頂電極。
2.根據(jù)權利要求1所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器,其特征在于,所述鐵酸鉍功能層由鐵酸鉍納米顆粒形成,所述鐵酸鉍納米顆粒的形貌為圓形、方形或棱柱形中的一種。
3.根據(jù)權利要求1所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器,其特征在于,所述柔性基底的材料為PET塑料。
4.根據(jù)權利要求1所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器,其特征在于,所述底電極和頂電極均由具有延展性的金屬材料構成,所述金屬材料為Al、Cu、Au或Pt中的一種或多種。
5.根據(jù)權利要求1所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器,其特征在于,所述底電極和頂電極的厚度均為80-100nm。
6.根據(jù)權利要求1所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器,其特征在于,所述第一聚合物層和第二聚合物層的材料為聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯或聚乙烯醇中的一種。
7.一種如權利要求1-6任一所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器的制備方法,其特征在于,包括步驟:
A、以熱蒸發(fā)的形式在柔性基底上制備底電極;
B、在底電極上旋涂聚合物形成第一聚合物層,之后進行退火處理;
C、在退火后的第一聚合物層上旋涂預先制備好的鐵酸鉍納米顆粒溶液,形成鐵酸鉍納米顆粒層;
D、在鐵酸鉍納米顆粒層上旋涂聚合物形成第二聚合物層;
E、以熱蒸發(fā)的形式在第二聚合物層上制備頂電極,制得基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器。
8.根據(jù)權利要求7所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器的制備方法,其特征在于,所述步驟B中,對第一聚合物層進行退火處理的溫度為90-100℃,時間為1-2h。
9.根據(jù)權利要求7所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器的制備方法,其特征在于,所述步驟A之前還包括:
A01、將硝酸鉍和硝酸鐵溶解在去離子水中,加入氫氧化鉀后攪拌40-80min;
A02、在200-250℃的條件下對攪拌后的溶液保溫1-3h,冷卻至室溫;
A03、對冷卻后的溶液進行超聲波處理,最后進行離心處理,取出含有鐵酸鉍納米顆粒的上清液。
10.根據(jù)權利要求9所述的基于鐵酸鉍納米顆粒的阻變式存儲器的制備方法,其特征在于,在所述步驟A03中,通過調節(jié)離心轉速獲取不同尺寸的鐵酸鉍納米顆粒。
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