[發明專利]一種光刻膠剝離液

在審

• 申請號: 201710488370.8
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN107085357A
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 劉江華
• 申請（專利權）人: 昆山欣谷微電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻膠剝離液，包括特征性有機胺、輔助性有機胺、極性有機溶劑、腐蝕抑制劑，其特征在于各組份質量百分比含量為：特征性有機胺1-75%、輔助性有機胺0-60%、極性有機溶劑20-90%、腐蝕抑制劑0.01-10%。

2.根據權利要求1所述一種光刻膠剝離液，其特征在于所述各組分質量百分比含量優選為：特征性有機胺優選5-70%、輔助性有機胺優選5-50%、極性有機溶劑優選30-85%、腐蝕抑制劑優選0.1-8%。

3.根據權利要求1所述一種光刻膠剝離液，其特征在于所述特征性有機胺為羥乙基乙二胺。

4.根據權利要求1所述一種光刻膠剝離液，其特征在于所述輔助性有機胺包括有機脂肪胺和有機醇胺，所述有機脂肪胺優選二甲胺、二乙胺、二丙胺、環丙胺、三乙胺、乙二胺、1,2-丙二胺、二正丁胺、已胺、正丁胺、2-乙基已胺、1,4-丁二胺、三亞乙基二胺、二亞乙基三胺、六亞甲基四胺、六亞甲基亞胺、嗎林、N-氨丙基嗎林、哌嗪、哌啶、環已胺，所述有機醇胺優選單乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N,N- 二甲基乙醇胺、N,N-二乙基乙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、3-丙醇胺、2-氨基乙醇胺、乙基二乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺、二甘醇胺中的一種或多種，其中優選單乙醇胺、二甘醇胺中的一種或其混合物。

5.根據權利要求1所述一種光刻膠剝離液，其特征在于所述極性有機溶劑較佳的為亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺、醇醚中的一種或多種；該亞砜較佳的為二甲基亞砜、甲乙基亞砜中的一種或多種；該砜較佳的為甲基砜、環丁砜中的一種或多種；該咪唑烷酮較佳的為2-咪唑烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一種或多種；該吡咯烷酮較佳的為N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-環己基吡咯烷酮中的一種或多種；該酰胺較佳的為二甲基甲酰胺、二乙基甲酰胺、二甲基乙酰胺中的一種或多種；該醇醚較佳的為二乙二醇單丁醚、三乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、三丙二醇單甲醚；同時，所述極性有機溶劑還包括四氫糠醇、1,4-丁內酯中的一種或多種。

6.根據權利要求1所述一種光刻膠剝離液，其特征在于所述腐蝕抑制劑為含有氮、氧、硫等原子的有機腐蝕抑制劑，其中較佳的為多元醇類、酚類、唑類和有機羧酸類中的一種或幾種；所述多元醇較佳的為乙二醇、1,2-丙二醇、丙三醇、二乙二醇、二丙二醇、赤蘚糖醇、木糖醇、山梨糖醇中的一種或幾種；所述酚類較佳的為鄰苯二酚、4-甲基鄰苯二酚、4-叔丁基鄰苯二酚、4-羧基鄰苯二酚、鄰苯三酚、沒食子酸、沒食子酸甲酯、沒食子酸乙酯、沒食子酸正丙酯中的一種或幾種；所述唑類較佳的為1,2,4-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、4-氨基-1,2,4-三唑、5-氨基四唑、苯并咪唑、2-巰基-1-甲基咪唑、巰基-苯并噻唑、苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、1-羥基苯并三唑、1-苯基-5-巰基四氮唑中的一種或幾種；更優選的，有機羧酸類較佳的為檸檬酸、馬來酸、DL-蘋果酸、鄰苯二甲酸中的一種或幾種。

7.一種光刻膠剝離液的應用，其特征在于先將各組份依次加入容器中，再在室溫下攪拌溶解，然后將含有光刻膠殘留物的晶圓片浸入容器中的混合溶液中，在30℃至100℃下浸泡合適的時間后，取出漂洗，再用高純氮氣吹干。

8.根據權利要求7所述一種光刻膠剝離液的應用，其特征在于所述漂洗采用IPA或NMP潤洗，然后去離子水清洗。