[發(fā)明專利]光伏電池制造用清洗機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710471245.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-20
• 公開（公告）號(hào): CN107297346A
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉春杰;王新華;張昕宇;金浩;張何;何文新;唐昌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 李海建

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光伏電池制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種光伏電池制造用清洗機(jī)。

背景技術(shù)

在光伏電池制造過(guò)程中，擴(kuò)散工藝和LPCVD(低壓化學(xué)氣相沉積法，Low-pressure Chemical Vapor Deposition)工藝都會(huì)需要石英舟裝載硅片。

在擴(kuò)散的過(guò)程中，石英舟表面會(huì)沉積雜質(zhì)薄膜；在LPCVD工藝中，石英舟、爐管、擋板以及特氣導(dǎo)流管表面都會(huì)沉積雜質(zhì)薄膜。當(dāng)雜質(zhì)薄膜達(dá)到一定厚度就會(huì)對(duì)光伏電池制造工藝產(chǎn)生影響，降低電池片的效率。因此，要經(jīng)常清洗爐管、擋板、特氣導(dǎo)流管、石英舟以及擴(kuò)散爐的尾氣管，而且需要特別配液才能夠清洗。

現(xiàn)有的清洗機(jī)，采用同一個(gè)清洗槽進(jìn)行藥液清洗和水清洗，則藥液清洗一次后需要排放掉，并在該清洗槽內(nèi)補(bǔ)入水，進(jìn)行水清洗，這樣導(dǎo)致藥液的利用率較低，清洗成本較高。

另外，清洗擴(kuò)散使用的石英舟和清洗LPCVD工藝使用的石英舟所需藥液不同，現(xiàn)有的清洗機(jī)功能單一，只能配置一種藥液，即只能清洗擴(kuò)散使用的石英舟或LPCVD工藝使用的石英舟，無(wú)法滿足多樣化清洗需求，導(dǎo)致通用性較差；現(xiàn)有的清洗機(jī)的自動(dòng)化程度也較低。

綜上所述，如何提高藥液的利用率，以降低清洗成本，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種光伏電池制造用清洗機(jī)，提高藥液的利用率，以降低清洗成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種光伏電池制造用清洗機(jī)，包括：

用于采用藥液清洗待清洗件的藥液清洗器；

用于采用水清洗待清洗件的水清洗器；

其中，所述藥液清洗器具有藥液清洗槽，所述藥液清洗槽設(shè)有第一排放口和第一補(bǔ)液口；所述水清洗器具有水清洗槽和位于所述水清洗槽內(nèi)的噴淋部件，所述水清洗槽設(shè)有第二排放口和第二補(bǔ)液口。

優(yōu)選地，所述藥液清洗器還包括：與所述第一補(bǔ)液口連通的第一補(bǔ)液管，串接于所述第一補(bǔ)液管上的第一閥門；與所述第一排放口連通的第一排放管，串接于所述第一排放管上的第二閥門；

所述水清洗器還包括：與所述第二補(bǔ)液口連通的第二補(bǔ)液管，串接于所述第二補(bǔ)液管上的第三閥門；與所述第二排放口連通的第二排放管，串接于所述第二排放管上的第四閥門；

其中，所述第一補(bǔ)液管至少為兩個(gè)，且所述第一補(bǔ)液口和所述第一閥門均與所述第一補(bǔ)液管一一對(duì)應(yīng)；所述第二補(bǔ)液管至少為兩個(gè)，且所述第二補(bǔ)液口和所述第二閥門均與所述第二補(bǔ)液管一一對(duì)應(yīng)。

優(yōu)選地，所述光伏電池制造用清洗機(jī)還包括：第一控制器和人機(jī)交互界面模塊；

其中，所述人機(jī)交互界面模塊包括：

第一設(shè)定單元，用于設(shè)定任意一個(gè)所述第一閥門的開閉時(shí)間；

第二設(shè)定單元，用于設(shè)定任意一個(gè)所述第二閥門的開閉時(shí)間；

第三設(shè)定單元，用于設(shè)定任意一個(gè)所述第三閥門的開閉時(shí)間；

第四設(shè)定單元，用于設(shè)定任意一個(gè)所述第四閥門的開閉時(shí)間；

第五設(shè)定單元，用于設(shè)定所述噴淋部件的噴淋時(shí)間；

所述第一控制器包括：

第一控制單元，用于根據(jù)所述第一閥門的開閉時(shí)間控制所述第一閥門的開閉；

第二控制單元，用于根據(jù)所述第二閥門的開閉時(shí)間控制所述第二閥門的開閉；

第三控制單元，用于根據(jù)所述第三閥門的開閉時(shí)間控制所述第三閥門的開閉；

第四控制單元，用于根據(jù)所述第四閥門的開閉時(shí)間控制所述第四閥門的開閉；

第五控制單元，用于根據(jù)所述噴淋部件的噴淋時(shí)間控制所述噴淋部件的啟停。

優(yōu)選地，所述第一補(bǔ)液管為四個(gè)，分別為硝酸補(bǔ)液管、氫氟酸補(bǔ)液管、鹽酸補(bǔ)液管和純水補(bǔ)液管。

優(yōu)選地，所述噴淋部件為噴淋管，且所述噴淋管上的至少兩個(gè)噴嘴的噴射角度不同。

優(yōu)選地，所述藥液清洗槽的頂部和所述水清洗槽的頂部均設(shè)有溢流孔。

優(yōu)選地，所述光伏電池制造用清洗機(jī)還包括：

位于所述藥液清洗槽和所述水清洗槽之間的擋板，所述擋板與所述藥液清洗槽和所述水清洗槽密封相連且形成容納槽；

與所述容納槽連通的溢流排放管；

其中，所述溢流孔位于所述擋板的頂部，且所述溢流孔與所述容納槽連通。

優(yōu)選地，所述藥液清洗槽和所述水清洗槽均設(shè)有鼓泡氣孔。

優(yōu)選地，所述光伏電池制造用清洗機(jī)還包括用于烘干所述待清洗件的烘干器。