[發(fā)明專利]金剛砂線切割液

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710461362.4
• 申請(qǐng)日: 2017-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN107325875A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉亞芬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 遼寧前程化工有限公司
• 主分類號(hào): C10M173/02
• 分類號(hào): C10M173/02;C10N30/06;C10N30/12;C10N30/04
• 代理公司: 北京市東方至睿知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11485
• 代理人: 史惠莉

技術(shù)領(lǐng)域：

本發(fā)明涉及一種用于金剛砂線切割單晶硅、多晶硅等非金屬脆硬材料的切割液。

背景技術(shù)：

目前用于切割單晶硅、多晶硅等非金屬脆硬材料的金剛砂切割液主要由聚乙二醇和純水構(gòu)成，切割中砂線外層鍍有的金剛石與硅片摩擦，切割時(shí)產(chǎn)生瞬間高溫也高，切屑硅粉由于粒度太細(xì)，比表面積大大增加，使得其反應(yīng)所需的活化能大大降低，切割后的產(chǎn)品表面不光滑，表面存在不易清洗的固體硅粉末，切割過程中的切割硅粉由于粘度太細(xì)與水反應(yīng)釋放氫氣，長時(shí)間生產(chǎn)累積會(huì)造成安全隱患。硅片的表面粗糙度和表面翹曲度高，使所加工硅片的總厚度偏差大。切割后的硅片表面TTV大、有線痕、潔凈度低。

發(fā)明內(nèi)容：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能保證切割后的產(chǎn)品表面TTV小、無線痕、潔凈度高、表面光滑、易清洗，所加工硅片的總厚度偏差低的金剛砂線切割液。

所述的金剛砂線切割液由如下成分組成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有機(jī)硅消泡劑、蒸餾水；其中脂肪醇占總重量的55%，聚丙二醇占總重量的2.5%、聚氧乙烯占總重量的5%、聚氧丙烯醚占總重量的3%、有機(jī)硅消泡劑占總重量的20%、蒸餾水占總重量的14.5%。

生產(chǎn)過程：將攪拌罐用蒸餾水反復(fù)沖洗，確認(rèn)沒有污物，將按所述的重量百分比稱好的各原料送入攪拌罐中，邊送料邊攪拌，完成送料后再攪拌20分鐘；攪拌后的物料用泵送至白鋼網(wǎng)（300目）處進(jìn)行加壓破碎過濾，得到產(chǎn)品。這樣做可使切割液均勻沒有絮狀物，使用過程方便快捷。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：具有優(yōu)異的潤滑、冷卻、防腐、防銹、氫氣抑制功能。切割后的硅片表面TTV小、無線痕、潔凈度高。能夠延長金剛砂線的使用壽命。

具體如下：

1、 具有良好的切割屑分散能力。快速潤濕分散切割碎屑，將切割屑帶離切割區(qū)，能抑制和消除切割過程中的切割硅粉由于粘度太細(xì)與水反應(yīng)釋放放的氫氣，會(huì)避免長時(shí)間的生產(chǎn)累積造成安全隱患。

2、 優(yōu)異的潤滑效果。可有效防止切割過程中硅片發(fā)生脆性崩裂或者劃痕產(chǎn)生。降低硅片的表面粗糙度和表面翹曲度，使所加工硅片的總厚度偏差降到最低。

3、 優(yōu)異的防腐、防銹的性能保護(hù)設(shè)備在酸性環(huán)境下不被腐蝕。

4、 使用了優(yōu)良的添加劑，確保延長金剛線的使用壽命。

5、 較好的回收性，可采用離心沉降的方式切屑硅粉和切割液進(jìn)行簡(jiǎn)單處理再利用，以而有效降底生產(chǎn)成本。

6、 易于切割后清洗。

具體實(shí)施方式：

所述的金剛砂線切割液由如下成分組成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有機(jī)硅消泡劑、蒸餾水；其中脂肪醇占總重量的55%，聚丙二醇占總重量的2.5%、聚氧乙烯占總重量的5%、聚氧丙烯醚占總重量的3%、有機(jī)硅消泡劑占總重量的20%、蒸餾水占總重量的14.5%。

生產(chǎn)過程：將攪拌罐用蒸餾水反復(fù)沖洗，確認(rèn)沒有污物，將按所述的重量百分比稱好的各原料送入攪拌罐中，邊送料邊攪拌，完成送料后再攪拌20分鐘；攪拌后的物料用泵送至白鋼網(wǎng)（300目）處進(jìn)行加壓破碎過濾，得到產(chǎn)品。這樣做可使切割液均勻沒有絮狀物，使用過程方便快捷。

實(shí)施例1，

將攪拌罐用蒸餾水反復(fù)沖洗，確認(rèn)沒有污物，向攪拌罐中投入脂肪醇550㎏，聚丙二醇25㎏、聚氧乙烯50㎏、聚氧丙烯醚30㎏、有機(jī)硅消泡劑200㎏、蒸餾水145㎏，邊送料邊攪拌，完成送料后再攪拌20分鐘；攪拌后的物料用泵送至白鋼網(wǎng)（300目）處進(jìn)行加壓破碎過濾，得到產(chǎn)品。