[發明專利]真空吸頭和抓取和安放裝置

有效

• 申請號: 201710457211.1
• 申請日: 2017-06-16
• 公開（公告）號: CN107275275B
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 方定昌;歐翔
• 申請（專利權）人: 英特爾產品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京永新同創知識產權代理有限公司 11376
• 代理人: 楊勝軍

1.一種真空吸頭(1)，包括：

盤體(3)；

形成在所述盤體(3)上的中心通孔(5)；

形成在所述盤體(3)中并且從所述中心通孔(5)向著周邊延伸的至少一條氣體通道(7)；

形成在所述盤體(3)的第一側(9)并且與相應氣體通道(7)連通的至少一個通氣孔(11)；

其中，所述中心通孔(5)和所述至少一個通氣孔(11)中的至少一個孔能夠安裝吸嘴(15)，所述中心通孔(5)和所述至少一個通氣孔(11)中的其它孔能夠由塞子(13)可取下地封閉；

其中，所述盤體(3)包括基體(17)和可取下地設置在所述基體(17)上的吸嘴保持架(19)，其中，所述中心通孔(5)、所述氣體通道(7)以及所述通氣孔(11)都形成在所述吸嘴保持架(19)上。

2.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，所述真空吸頭(1)包括多條氣體通道(7)，所述多條氣體通道(7)沿著徑向呈放射狀形成在所述盤體(3)中。

3.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，所述真空吸頭(1)包括與每條氣體通道(7)連通的多個通氣孔(11)，所述多個通氣孔(11)沿著每條氣體通道(7)均勻地形成。

4.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，所述真空吸頭(1)包括四條氣體通道(7)，相鄰的氣體通道(7)相互成直角地延伸。

5.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，在所述基體(17)上形成與所述吸嘴保持架(19)形狀相對應的凹部(23)，用于安放所述吸嘴保持架(19)。

6.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，所述吸嘴保持架(19)為X形或十字形。

7.根據權利要求5所述的真空吸頭(1)，其特征在于，在所述基體(17)的與所述第一側相反的第二側上與所述凹部(23)相對應的位置上形成有加強部(31)。

8.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，所述真空吸頭(1)還包括引導銷(27)，在所述盤體(3)上沒有形成所述中心通孔(5)和所述氣體通道(7)的部位形成多個均勻分布的接收孔(29)，用于可取下地安放所述引導銷(27)。

9.根據權利要求1所述的真空吸頭(1)，其特征在于，在所述盤體(3)的與所述第一側相反的第二側上安裝有鋼或鐵制成的連接板(35)，以實現磁性聯接。

10.一種抓取和安放裝置,包括：

機械手臂；以及

安裝到所述機械手臂上的如權利要求1-9任一所述的真空吸頭(1)。