[發(fā)明專利]阻抗匹配裝置和阻抗匹配方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710454753.3
• 申請日: 2017-06-15
• 公開（公告）號: CN109148250B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊京;韋剛;衛(wèi)晶
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 倪斌

1.一種阻抗匹配裝置，用于匹配等離子體產(chǎn)生設(shè)備中射頻源以及與射頻源連接的負(fù)載之間的阻抗，所述阻抗匹配裝置包括：

匹配阻抗網(wǎng)絡(luò)；

電機，用于驅(qū)動匹配阻抗網(wǎng)絡(luò)以提供一定的阻抗；以及

控制器，響應(yīng)于接收到的射頻源的工作模式信息，選擇性地發(fā)出第一指令或第二指令，其中第一指令指示電機驅(qū)動阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，第二指令指示電機停止驅(qū)動以及射頻源進行掃頻操作，

其中，射頻源工作于脈沖level-level模式，level-level模式包括High level階段和Low level階段，工作模式信息指示High level階段或Low level階段，并且響應(yīng)于接收到射頻源交替地工作于High level階段或Low level階段，控制器選擇性地發(fā)出分別對應(yīng)的第一指令或第二指令。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，

當(dāng)工作模式信息指示High level階段時，控制器發(fā)出第一指令，且當(dāng)模式信號指示Lowlevel時，控制器發(fā)出第二指令；或者

當(dāng)工作模式信息指示Low level階段時，控制器發(fā)出第一指令，且當(dāng)模式信號指示Highlevel時，控制器發(fā)出第二指令。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，射頻源的頻率為2MHz、13.56MHz、60MHz中至少之一。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，射頻源以10Hz-20kHz的調(diào)制頻率、10％-90％的占空比被脈沖調(diào)制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，等離子體產(chǎn)生設(shè)備包括電感耦合等離子體產(chǎn)生設(shè)備、電容耦合等離子體產(chǎn)生設(shè)備、微波等離子體產(chǎn)生設(shè)備或電子回旋共振等離子體產(chǎn)生設(shè)備。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，等離子體產(chǎn)生設(shè)備用于等離子體刻蝕機。

7.一種對等離子體產(chǎn)生設(shè)備中射頻源以及與射頻源連接的負(fù)載之間的阻抗進行匹配的方法，包括：

根據(jù)射頻源的工作模式信息，選擇性地進行以下操作之一：

-指示電機驅(qū)動匹配阻抗網(wǎng)絡(luò)以提供一定的阻抗；以及

-指示電機停止驅(qū)動以及射頻源進行掃頻操作，

其中，射頻源工作于脈沖level-level模式，level-level模式包括High level階段和Low level階段，工作模式信息指示High level階段或Low level階段，并且響應(yīng)于接收到射頻源交替地工作于High level階段或Low level階段，選擇性地進行分別對應(yīng)的上述操作之一。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，

當(dāng)工作模式信息指示High level階段時，指示電機驅(qū)動匹配阻抗網(wǎng)絡(luò)以提供一定的阻抗，且當(dāng)模式信號指示Low level時，指示電機停止驅(qū)動以及射頻源進行掃頻操作；或者

當(dāng)工作模式信息指示Low level階段時，指示電機驅(qū)動匹配阻抗網(wǎng)絡(luò)以提供一定的阻抗，且當(dāng)模式信號指示High level時，指示電機停止驅(qū)動以及射頻源進行掃頻操作。