[發明專利]一種有機電致發光器件及制備方法、蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201710446359.5
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN107123754A
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 劉欣;孔超
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司11291
• 代理人: 郭潤湘

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種有機電致發光器件及制備方法、蒸鍍設備。

背景技術

有機電致發光器件(OLED)具有自發光、發光效率高、功耗低、反應快、視角廣、亮度高、色彩艷、輕薄等優點，被認為在照明和顯示器件市場上具有廣闊的應用前景，受到了國際光電學術界和產業界的高度重視。

目前使用真空蒸鍍的方法制備OLED器件，在蒸鍍沉積有機功能層的過程中蒸鍍腔室必須具有高真空度和潔凈的環境，蒸鍍過程中工藝條件的不同會對OLED器件的性能造成極大的不同，而目前采用真空蒸鍍的方法制備的OLED器件的壽命較低，這與市場的需求不相符。

基于此，如何提高OLED器件的壽命，是本領域技術人員亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明實施例提供了一種有機電致發光器件及制備方法、蒸鍍設備，用以提高OLED器件的壽命。

本發明實施例提供的一種有機電致發光器件的制備方法包括：

在襯底基板上形成陽極層；

在形成有所述陽極層的所述襯底基板上真空蒸鍍待蒸鍍的有機功能層材料，并在蒸鍍所述待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有所述陽極層的所述襯底基板進行熱處理，以形成有機功能層；

在形成有所述有機功能層的所述襯底基板上形成陰極層。

通過該方法，在蒸鍍待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有陽極層的襯底基板進行熱處理，以改善有機功能層的形貌，從而影響有機功能層的性能，進而可以提高OLED器件的壽命。

較佳地，所述在形成有所述陽極層的所述襯底基板上真空蒸鍍待蒸鍍的有機功能層材料，并在蒸鍍所述待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有所述陽極層的所述襯底基板進行熱處理，具體包括：

根據待蒸鍍的有機功能層材料的性質確定熱處理溫度；

利用設置在蒸鍍腔室中的熱源對所述襯底基板進行加熱至所述熱處理溫度；

在形成有所述陽極層的所述襯底基板上真空蒸鍍所述待蒸鍍的有機功能層材料，并采用所述熱處理溫度在蒸鍍所述待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有所述陽極層的所述襯底基板進行熱處理。

該方法在蒸鍍待蒸鍍的有機功能層之前，對襯底基板進行加熱，可以有效減少吸附在待蒸鍍的襯底基板表面上的水氧和其他雜質，從而可以提高OLED器件的壽命，并且根據待蒸鍍的有機功能層材料的性質確定熱處理溫度，采用該熱處理溫度在蒸鍍待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有陽極層的襯底基板進行熱處理，這樣可以更好地改善有機功能層的形貌，從而可以進一步提高OLED器件的壽命。

較佳地，所述利用設置在蒸鍍腔室中的熱源對所述襯底基板進行加熱，具體包括：

利用設置在蒸鍍腔室中并且位于所述襯底基板背向蒸發源一側的加熱基板對所述襯底基板進行加熱。

該方法利用設置在蒸鍍腔室中并且位于襯底基板背向蒸發源一側的加熱基板對襯底基板進行加熱，這樣可以使得加熱更加均勻，因此可以更好地改善有機功能層的形貌，從而可以進一步提高OLED器件的壽命。

較佳地，所述熱處理溫度為40-150℃。

較佳地，在形成有所述陽極層的所述襯底基板上形成有機功能層，具體包括：

在形成有所述陽極層的所述襯底基板上依次層疊真空蒸鍍制備空穴注入層、空穴傳輸層、發光層、電子傳輸層、電子注入層。

較佳地，在制備所述空穴傳輸層之后，且在制備所述發光層之前，該方法還包括：

在所述空穴傳輸層上真空蒸鍍制備電子阻擋層。

較佳地，在制備所述發光層之后，且在制備所述電子傳輸層之前，該方法還包括：

在所述發光層上真空蒸鍍制備空穴阻擋層。

本發明實施例還提供了一種有機電致發光器件，該有機電致發光器件為采用本發明任意實施例提供的有機電致發光器件的制備方法制備得到的有機電致發光器件。

由于本發明實施例提供的有機電致發光器件采用上述有機電致發光器件的制備方法制備得到，而上述有機電致發光器件的制備方法在蒸鍍待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有陽極層的襯底基板進行熱處理，以改善有機功能層的形貌，從而影響有機功能層的性能，進而可以提高OLED器件的壽命。

本發明實施例還提供了一種蒸鍍設備，包括：蒸鍍腔室，設置在所述蒸鍍腔室中的蒸發源，還包括：設置在所述蒸鍍腔室中的熱源，用于在制備本發明任意實施例提供的有機電致發光器件的過程中，在蒸鍍待蒸鍍的有機功能層材料過程中對形成有所述陽極層的所述襯底基板進行熱處理。