[發(fā)明專利]基于波導集成型一維光子晶體微腔的超聲波探測器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710420964.5 | 申請日： | 2017-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN109001303A | 公開（公告）日： | 2018-12-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 何賽靈;張森林 | 申請（專利權）人： | 常熟市浙大紫金光電技術研究中心 |
| 主分類號： | G01N29/36 | 分類號： | G01N29/36;G01H9/00 |
| 代理公司： | 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 滕詣迪 |
| 地址： | 215500 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 集成型 一維光子晶體 波導 微腔 超聲波探測器 可調諧激光器 超聲波信號 超聲換能器 光電探測器 高集成度 高頻信號 光聲檢測 光學微腔 壓電技術 輸出光 檢測 激光 探測 施加 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于波導集成型一維光子晶體微腔的超聲波探測器，其特征在于：包括可調諧激光器(1)、波導集成型一維光子晶體微腔(2)、光電探測器(3)、超聲換能器(4)，
可調諧激光器(1)向波導集成型一維光子晶體微腔(2)發(fā)激光，超聲換能器(4)向波導集成型一維光子晶體微腔(2)施加超聲波信號，光電探測器(3)探測波導集成型一維光子晶體微腔(2)的輸出光強度。
2.根據(jù)權利要求1所述的基于波導集成型一維光子晶體微腔的超聲波探測器，其特征在于：所述的波導集成型一維光子晶體微腔(2)其一端為輸入波導(2-1)，另一端為輸出波導(2-4)；中間部分為光子晶體微腔區(qū)波導(2-2)，光子晶體微腔區(qū)波導(2-2)內(nèi)部設置小孔(2-3)。
3.根據(jù)權利要求2所述的基于波導集成型一維光子晶體微腔的超聲波探測器，其特征在于：所述的小孔均勻排列。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的基于波導集成型一維光子晶體微腔的超聲波探測器，其特征在于：所述的波導集成型一維光子晶體微腔(2)的波導芯層(2-5)采用硅或氮化硅材料，上包層為聚合物材料(2-6)和下包層為二氧化硅材料(2-7)。
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