[發明專利]一種磁阻傳感器

在審

• 申請號: 201710403082.8
• 申請日: 2017-06-01
• 公開（公告）號: CN108983125A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 鄒波
• 申請（專利權）人: 深迪半導體（上海）有限公司
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

本發明實施例公開了一種磁阻傳感器，該磁阻傳感器中所述第一惠斯通電橋電路和第二惠斯通電橋電路可以測量第一方向和第二方向上的磁場對應的磁通量，所述第三惠斯通電橋電路可以測量第三方向上的磁場對應的磁通量，從而使得本發明實施例所提供的磁阻傳感器不僅可以測量檢測垂直于基板平面的磁通，還可以檢測平行于基板平面的磁通，從而擴大了各向異性磁阻傳感器的使用范圍。

技術領域

本發明涉及各向異性磁阻傳感器技術領域，尤其涉及一種磁阻傳感器。

背景技術

各向異性磁阻(AMR，Anisotropic Magnetoresistance)傳感器是現代產業中新型磁電阻效應傳感器，在電子羅盤應用中正變得越來越重要。除各向異性磁阻傳感器外，磁性傳感器目前還有霍爾效應傳感器、巨磁阻(GMR)傳感器、隧道磁阻傳感器等，但由于各向異性磁阻傳感器具有較高的靈敏度，且技術較為成熟，應用更為廣泛。

目前，現有技術中的各向異性磁阻傳感器僅僅可以檢測垂直于裝置平面的磁通，而不能檢測平行于裝置平面的磁通，從而限制了各向異性磁阻傳感器的應用范圍。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明實施例提供了一種磁阻傳感器，以同時檢測垂直于裝置平面的磁通和平行于裝置平面的磁通，擴大各向異性磁阻傳感器的應用范圍。

為解決上述問題，本發明實施例提供了如下技術方案：

一種磁阻傳感器，包括：

基板；

多個凸塊，所述凸塊位于所述基板第一表面，包括相對的第一傾斜表面和第二傾斜表面，所述第一傾斜表面與所述第一表面之間具有第一內角，所述第二傾斜表面與所述第一表面之間具有第二內角，所述第一內角和所述第二內角大小相同；

第一惠斯通電橋電路，所述第一惠斯通電橋電路包括四個第一電橋臂，每個所述第一電橋臂包括第一各向異性磁阻傳感器和第二各向異性磁阻傳感器，所述第一各向異性磁阻傳感器和第二各向異性磁阻傳感器設置于所述第一傾斜表面上；

第二惠斯通電橋電路，所述第二惠斯通電橋電路包括四個第二電橋臂，每個所述第二電橋臂包括第三各向異性磁阻傳感器和第四各向異性磁阻傳感器，所述第三各向異性磁阻傳感器和第四各向異性磁阻傳感器設置在所述第二傾斜表面上；

第三惠斯通電橋電路，所述第三惠斯通電橋電路包括多個設置在所述第一表面的第五各向異性磁阻傳感器；

其中，所述第一惠斯通電橋電路和第二惠斯通電橋電路用于測量第一方向和第二方向上的磁場，所述第三惠斯通電橋電路用于測量第三方向上的磁場，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向兩兩垂直；所述第一各向異性磁阻傳感器在所述第一表面上的投影沿第四方向旋轉第三角度與所述第三方向平行，所述第二各向異性磁阻傳感器在第一表面上的投影沿第五方向旋轉第三角度與所述第三方向平行，所述第四方向為順時針方向，所述第五方向為逆時針方向，或所述第四方向為逆時針方向，所述第五方向為順時針方向；

所述第三各向異性磁阻傳感器在所述第一表面上的投影沿第六方向旋轉第四角度與所述第三方向平行，所述第四各向異性磁阻傳感器在所述第一表面上的投影沿第七方向旋轉第四角度與所述第三方向平行，所述第六方向為順時針方向，所述第七方向為逆時針方向，或所述第六方向為逆時針方向，所述第七方向為順時針方向，所述第三角度和所述第四角度均大于0°。

可選的，所述第三角度小于或等于45°；所述第四角度小于或等于45°。

可選的，所述第三角度和第四角度均為w°，w的取值范圍為0°-45°，包括端點值。

可選的，所述第一惠斯通電橋包括：第一電阻支路、第二電阻支路、第三電阻支路和第四電阻支路四個電阻支路；

所述第二惠斯通電橋包括：第五電阻支路、第六電阻支路、第七電阻支路和第八電阻支路四個電阻支路。