[發明專利]一種高潔凈度的芯片除塵箱

在審

• 申請號: 201710395872.6
• 申請日: 2017-05-31
• 公開（公告）號: CN107086193A
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 張文杰;謝亮;金湘亮
• 申請（專利權）人: 江蘇芯力特電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司32224
• 代理人: 董建林,韓賽

1.一種高潔凈度的芯片除塵箱，包括箱體（1），所述箱體（1）的前側敞口（1.1）并在敞口（1.1）處設置箱門；其特征在于：還包括：

氣泵；

盤式噴頭，設置于所述箱體（1）內；

電機（4），設置于所述箱體（1）內；

轉盤（3），由所述電機（4）驅動可轉動地設置于所述箱體（1）內；

集塵室（5），設置在所述箱體（1）兩側的外部；

風機，設置于所述集塵室（5）中；

所述盤式噴頭與所述氣泵連接并且位于所述轉盤（3）的上方面朝所述轉盤（3）設置；所述箱體（1）與所述集塵室（5）連通，所述集塵室（5）具有一出氣管（6）。

2.根據權利要求1所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：所述盤式噴頭具有一個噴頭本體（2）和連接所述噴頭本體（2）和氣泵的高壓氣管（8）。

3.根據權利要求2所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：所述噴頭本體（2）為正方形結構體，其內部具有用于氣體分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）連通所述高壓氣管（8）；所述噴頭本體（2）的下表面具有若干用于使氣流從所述分流腔（2.1）中噴出的氣孔（2.2）。

4.根據權利要求2所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：所述噴頭本體（2）為圓形結構體，其內部具有用于氣體分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）連通所述高壓氣管（8）；所述噴頭本體（2）的下表面具有若干用于使氣流從所述分流腔（2.1）中噴出的氣孔（2.2）。

5.根據權利要求1所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：還包括：

防逆流擋片（7），轉動設置在所述集塵室（5）與所述箱體（1）的連通處；

所述防逆流擋片（7）能夠在所述風機的吸力作用下開啟，也能夠在自身重力作用下關閉。

6.根據權利要求5所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：還包括：

限位塊（9），設置在所述集塵室（5）內；

所述防逆流擋片（7）開啟角度達到30～45°時碰觸所述限位塊（9）。

7.根據權利要求1所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：所述集塵室（5）中設置有用于將氣流引導至所述出氣管（6）的導流片（10）。

8.根據權利要求1所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：所述集塵室（5）中設置有用于將氣流引導至所述出氣管（6）的導流網。

9.根據權利要求1所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：所述出氣管（6）處設置過濾網。

10.根據權利要求1所述的一種高潔凈度的芯片除塵箱，其特征在于：還包括：

灰塵傳感器，設置在所述箱體（1）內用于檢測其內部的灰塵濃度。