[發明專利]固化涂膜的形成方法在審
| 申請號： | 201710377521.2 | 申請日： | 2017-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN107490936A | 公開（公告）日： | 2017-12-19 |
| 發明（設計）人： | 上杉尚之;齋藤隆英;木村健人;岡本吉生 | 申請（專利權）人： | 株式會社田村制作所 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京思益華倫專利代理事務所(普通合伙)11418 | 代理人： | 郭紅麗,常殿國 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 固化 形成 方法 | ||
1.固化涂膜的形成方法，其特征在于，具有：采用噴墨法將25℃下的粘度為120～3300mPa·s的第1感光性樹脂組合物涂布于基板的工序；
通過第1固化處理由所述涂布的第1感光性樹脂組合物形成第1固化涂膜的工序；
在所述第1固化涂膜上涂布第2感光性樹脂組合物的工序；和
通過第2固化處理由所述涂布的第2感光性樹脂組合物形成第2固化涂膜的工序。
2.權利要求1所述的固化涂膜的形成方法，其特征在于，所述第2感光性樹脂組合物的涂布方法為絲網印刷法、噴墨法、輥涂機法、棒涂機法、噴涂機法、幕涂流動涂料器法、刮刀法、涂敷器法、刮刀涂布機法、刮板涂布機法或凹版涂布機法。
3.權利要求1所述的固化涂膜的形成方法，其特征在于，采用噴墨法以外的其他涂布方法在所述第1固化涂膜上涂布所述第2感光性樹脂組合物。
4.權利要求3所述的固化涂膜的形成方法，其特征在于，所述其他涂布方法為絲網印刷法、輥涂機法、棒涂機法、噴涂機法、幕涂流動涂料器法、刮刀法、涂敷器法、刮刀涂布機法、刮板涂布機法或凹版涂布機法。
5.權利要求1-4的任一項所述的固化涂膜的形成方法，其特征在于，所述第1感光性樹脂組合物在25℃下的粘度為200～1000mPa·s。
6.權利要求1-4的任一項所述的固化涂膜的形成方法，其特征在于，所述第2感光性樹脂組合物在25℃下的粘度為120～60000mPa·s。
7.權利要求1-4的任一項所述的固化涂膜的形成方法，其特征在于，所述第1感光性樹脂組合物是與所述第2感光性樹脂組合物相同的組合物。
8.權利要求1-4的任一項所述的固化涂膜的形成方法，其中，將所述第1感光性樹脂組合物涂布于所述基板的通孔和/或盲導孔。
9.權利要求1-4的任一項所述的固化涂膜的形成方法，其中，所述第1固化處理為采用活性能量線的曝光處理或熱處理。
10.權利要求9所述的固化涂膜的形成方法，其中，所述采用活性能量線的曝光處理的曝光量為30～500mJ/cm2。
11.權利要求1-4、10的任一項所述的固化涂膜的形成方法，其中，所述第2固化處理為采用活性能量線的曝光處理或熱處理。
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